[發明專利]鍵合機上的力傳感器的安裝結構及鍵合機

有效

• 申請號: 201110154792.4
• 申請日: 2011-06-09
• 公開（公告）號: CN102820205A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 李朝軍
• 申請（專利權）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/607;G01L1/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;趙愛軍

1.一種鍵合機上的力傳感器的安裝結構，其特征在于，所述安裝結構用于安裝力傳感器，所述安裝結構包括位于鍵合機的Z向動臂內部的與所述力傳感器的相配合的嵌槽。

2.如權利要求1所述的鍵合機上的力傳感器的安裝結構，其特征在于，所述Z向動臂上開有用于安裝超聲波換能器的安裝孔，所述嵌槽位于所述安裝孔圓周方向的任意位置。

3.如權利要求1或2所述的鍵合機上的力傳感器的安裝結構，其特征在于，所述嵌槽還用于安裝用于緊壓所述力傳感器的傳感器壓塊，所述傳感器壓塊是中心具有螺紋孔的圓柱形物體，所述傳感器壓塊設置于所述力傳感器的外側。

4.如權利要求3所述的鍵合機上的力傳感器的安裝結構，其特征在于，還包括螺栓，所述螺栓依次穿過所述Z向動臂、所述力傳感器、所述傳感器壓塊，所述螺栓與所述傳感器壓塊中心螺紋孔配合，通過所述力傳感器壓塊將所述力傳感器壓緊固定于所述Z向動臂上。

5.如權利要求1所述的鍵合機上的力傳感器的安裝結構，其特征在于，所述嵌槽包括一個用于安裝所述力傳感器的安裝平面，所述安裝平面平行于所述Z向動臂與所述鍵合機的換能器夾持座之間的表面所在的平面。

6.一種鍵合機，包括Z向動臂、超聲波換能器和換能器夾持座，其特征在于，所述Z向動臂內部設置有形狀與力傳感器的形狀相配合的嵌槽，所述力傳感器安裝于所述嵌槽內。

7.如權利要求6所述的鍵合機，其特征在于，所述Z向動臂上開有用于安裝所述超聲波換能器的安裝孔，所述嵌槽位于所述安裝孔圓周方向的任意位置。

8.如權利要求6或7所述的鍵合機，其特征在于，所述嵌槽內還設置有用于緊壓所述力傳感器的傳感器壓塊，所述傳感器壓塊是中心具有螺紋孔的圓柱形物體，所述傳感器壓塊設置于所述力傳感器的外側。

9.如權利要求8所述的鍵合機，其特征在于，還包括螺栓，所述螺栓依次穿過所述Z向動臂、所述力傳感器、所述傳感器壓塊，所述螺栓與所述傳感器壓塊中心螺紋孔配合，通過所述力傳感器壓塊將所述力傳感器壓緊固定于所述Z向動臂上。

10.如權利要求6所述的鍵合機，其特征在于，所述力傳感器的安裝面平行于所述Z向動臂與所述換能器夾持座之間的表面所在的平面，所述力傳感器的安裝方向平行于所述Z向動臂與所述換能器夾持座之間的表面所在的平面，所述力傳感器軸線垂直于所述Z向動臂與所述換能器夾持座之間的表面所在的平面。