[發明專利]圖案化導電元件的制備方法

有效

• 申請號: 201110154064.3
• 申請日: 2011-06-09
• 公開（公告）號: CN102820092A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發明（設計）人: 鄭嘉雄;黃柏山;施博盛;胡君怡;趙志涵;吳志笙
• 申請（專利權）人: 天津富納源創科技有限公司;識驊科技股份有限公司
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;H01B5/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種圖案化導電元件的制備方法，尤其涉及一種制備基于碳納米管的圖案化導電元件的制備方法。

背景技術

透明導電元件，尤其是圖案化導電元件，是各種電子設備，如觸摸屏、液晶顯示器、場發射顯示裝置等的重要元件。

現有技術中的圖案化導電元件包括一基底以及形成于該基底表面的圖案化的銦錫氧化物層（ITO層）。然而，ITO層在不斷彎折后，其彎折處的電阻有所增大，其作為透明導電層具有機械和化學耐用性不夠好的缺點，且存在電阻不均勻且電阻值范圍較小的現象。從而導致現有的觸摸屏存在耐用性差、靈敏度低及準確性較差等缺點。而且，ITO層作為透明導電層通常采用離子束濺射或蒸鍍等工藝制備，因此，使得ITO層的制備成本較高。而圖案化ITO層的方法通常為激光刻蝕，該方法不僅制備成本較高，而且制備效率較低。

發明內容

有鑒于此，確有必要提供一種成本較低，且效率較高的圖案化導電元件的制備方法。

一種圖案化導電元件的制備方法，其具體包括：提供一基底；在所述基底的一表面形成一粘膠層；按照預定圖案局部固化粘膠層，使得粘膠層形成一固化的第一區域和一未固化的第二區域；在粘膠層的表面形成一碳納米管層；固化粘膠層，使第二區域的粘膠層與碳納米管層粘結固定；以及去除位于第一區域的碳納米管層，形成一圖案化的碳納米管層。

與現有技術相比較，本發明實施例提供的圖案化導電元件的制備方法具有以下優點：通過先局部固化粘膠層，再形成碳納米管層的方法可以使得待去除的碳納米管層不被粘膠層固定，降低了去除碳納米管層的難度，從而降低了制備成本，也提高了制備圖案化導電元件的效率。

附圖說明

圖1為本發明實施例制備的圖案化導電元件的示意圖。

圖2為圖1的圖案化導電元件的局部II放大圖。

圖3和圖4為本發明實施例制備的圖案化導電元件的俯視圖。

圖5為本發明實施例提供的圖案化導電元件的制備方法的工藝流程圖。

圖6為圖5的粘膠層局部固化后的俯視圖。

圖7為圖5的碳納米管膜的掃描電鏡照片。

主要元件符號說明

圖案化導電元件10基底12粘膠層13第一區域132第二區域134碳納米管層14掩模15本體150通孔152紫外光16圖案化的碳納米管層18碳納米管182

如下具體實施方式將結合上述附圖進一步說明本發明。