[發明專利]一種3D封裝硅拋光液無效
| 申請號： | 201110153092.3 | 申請日： | 2011-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN102816532A | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 徐春 | 申請（專利權）人： | 安集微電子科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;H01L21/306;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海翰鴻律師事務所 31246 | 代理人： | 李佳銘 |
| 地址： | 201201 上海市浦東新區華東路*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 封裝 拋光 | ||
1.一種3D封裝硅拋光液，其特征在于，包括：研磨顆粒、堿性物質，拋光速率提升劑和載體水，所述速率提升劑為含有一個或多個α-氨基的含氮化合物，且所述3D封裝硅拋光液不含氧化劑。
2.根據權利要求1所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述的研磨顆粒的濃度為0.1～10wt％；所述的拋光速率提升劑的濃度為0.01～15wt％。
3.根據權利要求1所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述含有一個或多個α-氨基的含氮化合物為含有一個或多個H2N-(C＝NH)-NH-基團結構的胍類化合物。
4.根據權利要求3所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述胍類化合物為鹽酸雙胍、碳酸胍、鹽酸胍中的一種或多種。
5.根據權利要求1所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述含有一個或多個α-氨基的含氮化合物為含α-氨基的氨基酸。
6.根據權利要求5所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述含α-氨基的氨基酸為甘氨酸，精氨酸，鳥氨酸，賴氨酸，脯氨酸，丙氨酸中的一種或多種。
7.根據權利要求1所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述堿性物質為氫氧化鉀、氫氧化鈉、氫氧化鋰、氫氧化銫、四甲基氫氧化胺、四乙基氫氧化胺、四丙基氫氧化胺、乙二胺、氨水、羥胺、乙醇胺和三乙醇胺中的一種或多種的組合物。
8.根據權利要求1所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述拋光速率提升劑還包括一種或多種有機酸類化合物。
9.根據權利要求8所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述有機酸為乙二胺四乙酸、乙二胺四乙基磷酸和二乙三胺五甲叉磷酸中的一種或幾種的組合物。
10.根據權利要求1所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述研磨顆粒為氧化硅、氧化鋁、氧化鈰、碳化硅、氮化硅、氮化硼或聚合物顆粒中的一種或多種的組合物。
11.根據權利要求10所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述聚合物顆粒為聚乙烯、聚四氟乙烯。
12.根據權利要求10所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述的研磨顆粒為碳化硅、氧化硅。
13.根據權利要求1所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述研磨顆粒的粒徑為0.02～50微米。
14.根據權利要求13所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述研磨顆粒的粒徑為0.1～10微米。
15.根據權利要求1所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述拋光液還包括表面活性劑、穩定劑、滅菌抑制劑或殺菌劑中的一種或多種。
16.根據權利要求1所述的3D封裝硅拋光液，其特征在于，所述拋光液的pH值為9～12。
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