[發明專利]器件承載裝置

有效

• 申請號: 201110152913.1
• 申請日: 2011-06-08
• 公開（公告）號: CN102254764A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 嚴茂程;施翔尹
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01J9/00
• 分類號: H01J9/00;H01L21/673
• 代理公司: 廣東國暉律師事務所 44266
• 代理人: 陳琳

1.一種器件承載裝置，其特征在于：所述器件承載裝置包含：

一承載臺，具有一承載面及至少一通孔，且所述通孔開設于所述承載面；

一真空系統，提供一真空吸力至所述通孔；

一供氣系統，輸出至少一種氣體至所述通孔；以及

一放電系統，對所述氣體放電，使所述氣體電離成一離子流體；

其中所述通孔用以提供所述真空吸力以承載及吸引一器件；或用以在對所述器件解除真空時提供所述離子流體，以便消除所述器件的表面的靜電。

2.如權利要求1所述的器件承載裝置，其特征在于：所述放電系統包含：

至少一放電管，電離所述氣體以形成具有復數正或負離子的所述離子流體；

一電源供應器，提供一電信號至所述放電管；以及

一監控器，其中所述監控器監測所述放電端之一電極性及所述放電端與所述器件間的一電位差，進而調變所述電信號。

3.如權利要求2所述的器件承載裝置，其特征在于：所述電信號是一脈沖交流信號。

4.如權利要求2所述的器件承載裝置，其特征在于：所述放電管包含一放電端，所述放電端設置于所述通孔內，且所述放電端依據所述電信號使所述氣體電離成所述正或負離子。

5.如權利要求1所述的器件承載裝置，其特征在于：所述真空系統包含：

一真空產生器，用以產生所述真空吸力；

至少一第一導管，連接于所述通孔；以及

一第一閥門，位于所述第一導管及通孔之間。

6.如權利要求1所述的器件承載裝置，其特征在于：所述供氣系統包含：

一氣體供應器，用以輸出所述氣體；

至少一第二導管，連接于所述通孔；

一第二閥門，位于所述第一導管及所述通孔之間；以及

至少一篩網，具有復數篩孔，設置于所述氣體供應器及所述第二導管之間。

7.如權利要求1所述的器件承載裝置，其特征在于：所述通孔的直徑是4毫米，且所述通孔的一孔壁上披覆一硅樹脂層。

8.如權利要求1所述的器件承載裝置，其特征在于：所述承載臺另包含復數頂出銷，收納于所述承載臺內或自所述承載面向上伸出。

9.如權利要求1所述的器件承載裝置，其特征在于：所述器件是一液晶顯示器半成品的一玻璃基板。

10.一種器件承載裝置，其特征在于：所述器件承載裝置包含：

一承載臺，具有一承載面、至少一通孔及復數頂出銷，所述通孔開設于所述承載面，所述頂出銷收納于所述承載臺內或自所述承載面向上伸出；

一真空系統，提供一真空吸力至所述通孔；

一供氣系統，以一氣壓輸出至少一種氣體；以及

一放電系統，包含：

至少一放電管，對所述氣體放電，使所述氣體電離成一離子風；及

一電源供應器，提供一電信號至所述放電管；

其中所述通孔用以提供所述真空吸力以承載及吸引一器件；或用以在對所述器件解除真空時提供所述離子流體，以便消除所述器件的表面的靜電。