[發(fā)明專利]剝離液及其制備方法與應(yīng)用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110151807.1
• 申請日: 2011-06-08
• 公開（公告）號: CN102200700A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馮衛(wèi)文
• 申請（專利權(quán)）人: 綿陽艾薩斯電子材料有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245
• 代理人: 關(guān)暢

1.一種剝離液，包括式I所示季銨氫氧化物、非胺類水溶性有機溶劑、金屬螯合劑、防腐劑、水和下述有機溶劑中的至少一種：二元醇類水溶性有機溶劑和二元醇醚類水溶性有機溶劑；

(式I)

所述式I中，R₁、R₂和R₃均選自碳原子總數(shù)為1-5的烷基或碳原子總數(shù)為1-5的羥烷基。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離液，其特征在于：所述剝離液由所述式I所示季銨氫氧化物、非胺類水溶性有機溶劑、金屬螯合劑、防腐劑、水和下述有機溶劑中的至少一種組成：二元醇類水溶性有機溶劑和二元醇醚類水溶性有機溶劑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的剝離液，其特征在于：所述式I所示季銨氫氧化物選自氫氧化三甲基烯丙基銨、氫氧化(1-羥基乙基)二甲基烯丙基銨、氫氧化(1，2-二羥基乙基)一甲基烯丙基銨、氫氧化三乙基烯丙基銨、氫氧化一甲基二乙基烯丙基銨、氫氧化二甲基一乙基烯丙基銨、氫氧化(1-羥基乙基)二乙基烯丙基銨、氫氧化(1，2-二羥基乙基)一乙基烯丙基銨、氫氧化(1-羥基丙基)二乙基烯丙基銨、氫氧化三丙基烯丙基銨、氫氧化一甲基二丙基烯丙基銨、氫氧化二甲基一丙基烯丙基銨、氫氧化(1-羥基乙基)二丙基烯丙基銨、氫氧化(1，2-二羥基乙基)一丙基烯丙基銨、氫氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基銨、氫氧化(1-羥基丙基)二丙基烯丙基銨、氫氧化(1，2-二羥基丙基)一丙基烯丙基銨和氫氧化三丁基烯丙基銨中的至少一種，優(yōu)選氫氧化三甲基烯丙基銨，氫氧化三乙基烯丙基銨、氫氧化三丙基烯丙基銨、氫氧化三丁基烯丙基銨和氫氧化(1-羥基乙基)二甲基烯丙基銨中的至少一種；

所述非胺類水溶性有機溶劑選自N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N-乙基乙酰胺、N，N-二乙基乙酰胺、二甲基亞砜、丙酮和甲基乙基酮中的至少一種，優(yōu)選二甲基亞砜和甲基乙基酮中的至少一種；

所述金屬螯合劑選自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二鈉鹽、二亞乙基三胺五乙酸、三亞乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一種，優(yōu)選乙二胺四乙酸、二亞乙基三胺五乙酸和三亞乙基四胺六乙酸中的至少一種；

所述防腐劑選自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、1-硫甘油、2-巰基乙醇、鄰苯二酚、沒食子酸、蘋果酸和苯并三唑中的至少一種，優(yōu)選山梨糖醇和苯并三唑中的至少一種；

所述二元醇類水溶性有機溶劑選自乙二醇、一縮二乙二醇和丙二醇中的至少一種，優(yōu)選丙二醇；

所述二元醇醚類水溶性有機溶劑選自乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單丁醚、乙二醇單苯醚、乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單甲醚、一縮二乙二醇單乙醚、一縮二乙二醇單丙醚、一縮二乙二醇單丁醚、二丙二醇單甲醚和二丙二醇單乙醚中的至少一種，優(yōu)選乙二醇單甲醚和一縮二乙二醇單丁醚中的至少一種；

所述水的電阻率至少為18兆歐，總金屬離子濃度不大于5000ug/L，優(yōu)選500ug/L，更優(yōu)選50ug/L。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的剝離液，其特征在于：所述式I所示季銨氫氧化物占所述剝離液總重的1-15％，優(yōu)選2-10％；

所述非胺類水溶性有機溶劑占所述剝離液總重的5-30％，優(yōu)選10-20％；

所述金屬螯合劑占所述剝離液總重的1-5％，優(yōu)選2％；

所述防腐劑占所述剝離液總重的0.01-5％，優(yōu)選1％；

所述二元醇類水溶性有機溶劑和二元醇醚類水溶性有機溶劑的質(zhì)量用之和占所述剝離液總重的5-30％，優(yōu)選10-20％；

余量為所述水。

5.一種制備權(quán)利要求1-4任一所述剝離液的方法，包括如下步驟：其特征在于：將所述式I所示季銨氫氧化物、所述非胺類水溶性有機溶劑、所述金屬螯合劑、所述防腐劑、所述水和下述有機溶劑中的至少一種混勻，得到所述剝離液：二元醇類水溶性有機溶劑和二元醇醚類水溶性有機溶劑。