[發(fā)明專利]振動片、頻率調(diào)整方法、振子、振動器件以及電子設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110150627.1
• 申請日: 2011-06-07
• 公開（公告）號: CN102340292A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 河合宏紀(jì)
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/21
• 分類號: H03H9/21;H03H9/15
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種振動片，其特征在于，該振動片具有：

基部，其形成在包含第1方向和與該第1方向垂直的第2方向的平面上；以及

振動臂，其從所述基部起在所述第1方向上延伸，

所述振動臂在所述平面的法線方向上進(jìn)行彎曲振動，且具有第1面和第2面，所述第1面隨所述彎曲振動而發(fā)生壓縮或拉伸，所述第2面在所述第1面壓縮時發(fā)生拉伸、在所述第1面拉伸時發(fā)生壓縮，

在所述第1面上設(shè)有第1質(zhì)量部，并且，在所述第2面上設(shè)有第2質(zhì)量部，

在從所述法線方向觀察的平面視圖中，所述第1質(zhì)量部和所述第2質(zhì)量部中的至少一方具有與另一方不相對的部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于，

在從所述法線方向觀察的平面視圖中，所述第1質(zhì)量部和所述第2質(zhì)量部具有在所述第2方向上彼此相鄰地形成的部分。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動片，其特征在于，

所述第1質(zhì)量部和所述第2質(zhì)量部中的至少一方形成為帶狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動片，其特征在于，

所述第1質(zhì)量部和所述第2質(zhì)量部中的至少一方具有隔開間隔而設(shè)置的多個塊部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于，

所述第1質(zhì)量部和所述第2質(zhì)量部具有形成為帶狀、且在從所述法線方向觀察的平面視圖中彼此交叉的部分。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的振動片，其特征在于，

所述第2質(zhì)量部由比重比所述第1質(zhì)量部的構(gòu)成材料小的材料構(gòu)成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任一項(xiàng)所述的振動片，其特征在于，

所述第1質(zhì)量部和所述第2質(zhì)量部中的至少一方使用SiO₂、Al、Al₂O₃、TiO₂、Cr、Fe、Ni、Cu、Ag、Au以及Pt中的任意一方構(gòu)成。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中的任一項(xiàng)所述的振動片，其特征在于，

所述第1質(zhì)量部的厚度比所述第2質(zhì)量部的厚度厚。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中的任一項(xiàng)所述的振動片，其特征在于，

所述第1質(zhì)量部和所述第2質(zhì)量部被設(shè)置在所述振動臂的末端附近。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中的任一項(xiàng)所述的振動片，其特征在于，

在所述振動臂上形成有配置在第1電極層與第2電極層之間的壓電體層。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中的任一項(xiàng)所述的振動片，其特征在于，

在所述第2方向上排列設(shè)置有多個所述振動臂，相鄰的2個所述振動臂在彼此相反的方向上進(jìn)行彎曲振動。

12.一種頻率調(diào)整方法，其特征在于，該頻率調(diào)整方法包括以下步驟：

準(zhǔn)備權(quán)利要求1～11中的任一項(xiàng)所述的振動片；以及

增減所述第1質(zhì)量部和所述第2質(zhì)量部中的至少一方的質(zhì)量而調(diào)整所述振動臂的諧振頻率。

13.一種振子，其特征在于，該振子具有：

權(quán)利要求1～11中的任一項(xiàng)所述的振動片；以及

收納所述振動片的封裝。

14.一種振動器件，其特征在于，該振動器件具有：

權(quán)利要求1～11中的任一項(xiàng)所述的振動片；以及

與所述振動片連接的振蕩電路。

15.一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有權(quán)利要求1～11中的任一項(xiàng)所述的振動片。