[發明專利]基于電荷轉移的傳感器結構制作方法

無效

• 申請號: 201110150579.6
• 申請日: 2011-06-07
• 公開（公告）號: CN102214042A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發明（設計）人: 張小華;潘耀南;章晶晶
• 申請（專利權）人: 南京福萊克斯光電科技有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 李紀昌

?

技術領域

本發明涉及電子顯示技術領域，具體來說，是一種基于電荷轉移的傳感器結構制作方法。

背景技術

觸控面板（Touch?Panel）已大量應用于家電、通訊、電子資訊等產品應用上，如目前廣泛商用之掌上電腦、各種家電設備、游戲輸入界面等。均由觸控面板與顯示器之整合，可供使用者以手指或觸控筆依照顯示畫面上之功能選項觸摸輸入所欲執行的動作。

熟知的觸控面板主要在一塊基板表面布設感應區域，其感應區域用手指或觸控筆觸摸圖標或菜單來達到觸控的目的。該感應部件即為一種基于電荷轉移位置傳感器。該傳感部件的制作所使用的材料大都采用帶有透明導電薄膜（氧化銦錫，俗稱ITO）的玻璃，使得使用者在操作時，觸摸該傳感器達到電荷轉移的目的。

ITO導電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫膜加工制作而成。電容式觸摸傳感器主要有表面電容式觸摸傳感器和投射電容式觸摸傳感器。表面電容式觸摸傳感器只采用單層ITO玻璃；投射電容式觸摸傳感器與表面電容式觸摸傳感器相比，是在兩層ITO涂層玻璃上蝕刻出不同的ITO模塊。

現有基于電荷轉移位置傳感器大都是一塊多層復合玻璃屏；基于電荷轉移位置傳感器的制作主要是在玻璃表面通過真空濺射鍍膜的方法鍍上透明的金屬透明導電層（ITO），然后在兩面分別經過涂布、烘干、曝光、顯影、蝕刻、去膠等工藝制成電極圖案，最后再用印刷低溫銀漿或者化學鍍金屬的方法制作一層金屬強化走線層。印刷低溫銀漿的方式能夠制作的電極的分辨率較低，且良品率低下；化學鍍的方式一般選擇使用金（Au），不僅加工工序多，而且Au的附著力差，同時Au的成本很高，制作成品率低。玻璃基底過厚會造成重量增加，過薄在制作過程中易于損壞，并且無法實現卷曲，生產效率低。

發明內容

技術問題：本發明提供一種基于電荷轉移的傳感器結構制作方法，該傳感器加工工序少，生產成本低，成品率高于現有技術，同時減輕了產品重量，并能夠實現產品的卷曲。

技術方案：制作基于電荷轉移的傳感器結構的方法，步驟為：在基材的兩面通過真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空熱蒸發鍍膜或涂布的方法制作透明導電層；在上述上下透明導電層表面通過真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、真空熱蒸發鍍膜、電鍍或化學鍍方法制作金屬強化層；通過選擇性腐蝕方法在基材雙面分別形成第一透明導電層、第一引線電極組、第二透明導電層、第二引線電極組的圖形；在第一引線電極組和第二引線電極組表面采用絲網印刷、圓輥移印或光刻的方法制作保護層；將完成上述工藝的工件放入選擇性蝕刻液，將覆蓋透明導電層的金屬強化層去除。

所述的選擇性腐蝕方法采用涂布感光膠、貼敷感光干膜或者絲網印刷感光膠，之后干燥、曝光、顯影、蝕刻、去膠的方法完成電極圖案的制作。

所述的選擇性腐蝕方法采用絲網印刷或圓輥移印直接制作防蝕刻膠，之后干燥、曝光、顯影、蝕刻、去膠的方法完成電極圖案的制作。

在對感光膠進行曝光、顯影、蝕刻與脫膜工藝時，兩面同時進行工藝，或先對其中一面進行工藝，結束之后用保護膜將其保護住，然后對另一面進行工藝，完成之后去除保護膜。

將有機基材裁切后以片狀形式進行作業；或使用卷對卷的模式進行作業。

基于電荷轉移的傳感器結構，包括基材、在基材上表面依次形成的第一透明導電層、第一引線電極組、第一保護層和在基材下表面依次形成的第二透明導電層、第二引線電極組、第二保護層；第一引線電極組由透明導電層及覆蓋透明導電層的金屬強化層組成，該引線電極組與第一透明導電層電氣相連，其上覆蓋第一保護層；第二引線電極組由透明導電層及覆蓋透明導電層的金屬強化層組成，該引線電極組與第二透明導電層電氣相連，其上覆蓋第二保護層；第一引線電極組與第二引線電極組互相垂直。

基材為玻璃、聚對苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、亞克力或聚烯烴，厚度0.05mm~0.7mm。

所述玻璃的厚度為0.1mm~0.7mm。

所述的透明導電層的材料為氧化銦錫、氧化鋅、氧化錫、鋁、鎳、鉬、金、銀、銅、碳納米管膜或導電樹脂中的一種或任意幾種的組合物。

所述的金屬強化層的材料為鋁、鎳、鉬、金、銀或銅中的一種或任意幾種的合金。

有益效果：

1、本發明提出了一種新的基于電荷轉移的傳感器結構及其制作方法，取消了傳統工藝中通過印刷或者電鍍的方式制作強化引線，取而代之的是使用對整面金屬強化層進行光刻的方式來實現。而且雙面制作圖案的方法，增大了可視區域，降低了對綁定的精度要求。