[發明專利]相位全息與近場光學顯微鏡聯用制備裝置及其應用方法

無效

• 申請號: 201110147443.X
• 申請日: 2011-06-02
• 公開（公告）號: CN102279556A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 謝向生;王自鑫;周建英;張培晴
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: G03H1/12
• 分類號: G03H1/12;G02B6/122
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 禹小明

1.一種相位全息與近場光學顯微鏡聯用制備裝置，其特征在于，所述裝置包括處理模塊、全息相控模塊和近場光學顯微鏡；

所述全息相控模塊用于形成周期全息光場，并獲取近場光學顯微鏡的探針在周期全息光場所形成的布拉伐晶格中的相對位置；

所述近場光學顯微鏡用于掃描周期全息光場分布，并通過探針發出激光對樣品進行加工；

所述處理模塊用于讀取以及處理周期全息光場分布和探針在周期全息光場所形成的布拉伐晶格中的相對位置圖像，并通過預設軟件對近場光學顯微鏡和全息相控模塊進行控制。

2.根據權利要求1所述的相位全息與近場光學顯微鏡聯用制備裝置，其特征在于，所述全息相控模塊包括純相位液晶空間光調制器、棱鏡和多通道電壓驅動器，所述多通道電壓驅動器用于驅動所述空間光調制器。

3.根據權利要求1所述的相位全息與近場光學顯微鏡聯用制備裝置，其特征在于，所述近場光學顯微鏡的探針的位置與所述周期全息光場相對固定。

4.根據權利要求1所述的相位全息與近場光學顯微鏡聯用制備裝置，其特征在于，所述近場光學顯微鏡的載物平臺為壓電平移臺。

5.一種基于相位全息與近場光學顯微鏡聯用制備功能性光子晶體的方法，包括處理模塊、全息相控模塊和近場光學顯微鏡，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

1）通過全息相控模塊形成樣品的周期全息光場；

2）通過近場光學顯微鏡的探針，移動近場光學顯微鏡的載物平臺掃描所述周期全息光場干涉條紋的空間分布，然后處理模塊讀取該空間分布圖；

3）根據所述空間分布圖，打開近場探針的激光，近場光學顯微鏡的載物平臺平移樣品，對需要加工的地方，實現缺陷的加工。

6.根據權利要求5所述的基于相位全息與近場光學顯微鏡聯用制備功能性光子晶體的方法，其特征在于，根據近場光學顯微鏡的載物平臺移動坐標矢量表征的全息光場布拉伐結構表達和近場探針在全息光場所形成的布拉伐晶格中的相對位置移動所述載物平臺。

7.根據權利要求6所述的基于相位全息與近場光學顯微鏡聯用制備功能性光子晶體的方法，其特征在于，通過光學顯微鏡，結合相位鎖定技術，校準周期全息光場與納米平臺的方向，獲取所述由近場光學顯微鏡的載物平臺移動坐標矢量表征的全息光場布拉伐結構表達。

8.根據權利要求6所述的基于相位全息與近場光學顯微鏡聯用制備功能性光子晶體的方法，其特征在于，全息相控模塊中利用光闌將純相位液晶空間光調制器出射的某一束或幾束光遮擋，獲得周期全息光場某一方向的條紋，獲取近場顯微鏡探針處光強信息，再通過同樣方法獲得原全息光強其他方向的條紋，同樣獲取近場探針處的光強信息，通過計算，得出所述近場顯微鏡的探針在全息光場所形成的布拉伐晶格中的相對位置。