[發(fā)明專利]壓印裝置以及利用該壓印裝置的壓印方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110147244.9
• 申請日: 2011-05-27
• 公開（公告）號: CN102269928A
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張斗熙;宋泰俊;權(quán)當(dāng);趙恒燮;趙圣弼;金淏洙;張真稀
• 申請（專利權(quán)）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;鐘強(qiáng)

相關(guān)申請的相互引用

本申請要求于2010年6月7日提交的韓國專利申請10-2010-0053282的優(yōu)先權(quán)，該專利申請?jiān)诖巳恳胱鳛閰⒖肌?/p>

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在用于顯示設(shè)備的基板上形成圖案的壓印裝置，以及利用該壓印裝置的壓印方法。

背景技術(shù)

諸如LCD(液晶顯示器)、OLED(有機(jī)發(fā)光二極管)、PDP(等離子體顯示面板)和EPD(電泳顯示器)的顯示設(shè)備通過多個(gè)步驟進(jìn)行制造。為了制造這些顯示設(shè)備，進(jìn)行利用壓印裝置的壓印工藝以便在用于顯示設(shè)備的基板上形成圖案。

壓印裝置通過利用模具構(gòu)件向其上形成有樹脂層的基板施加壓力，由此依照該模具構(gòu)件的形狀來改變基板上的樹脂層的形狀。因此，在該基板上形成所希望的圖案。模具構(gòu)件上浮凸出想要在基板上形成的圖案。

現(xiàn)有技術(shù)的壓印裝置包括用于支撐基板的平臺(stage)。隨著現(xiàn)有技術(shù)的壓印裝置在平臺所支撐的基板上按壓模具構(gòu)件，在基板上壓印出圖案。在這點(diǎn)上，現(xiàn)有技術(shù)的壓印裝置可能具有由于平臺的平面度導(dǎo)致的在帶有圖案的基板上出現(xiàn)模糊的問題。基板上的模糊可能會降低顯示設(shè)備上顯示的圖像的畫面質(zhì)量。另外，現(xiàn)有技術(shù)的壓印裝置利用具有良好平面度的高價(jià)平臺來減少基板上出現(xiàn)的模糊，然而，高價(jià)平臺致使壓印工藝的制造成本增加，此外還致使基板的單位成本增加。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明涉及一種壓印裝置以及利用該壓印裝置的壓印方法，其基本上消除了由于現(xiàn)有技術(shù)的限制和缺陷所引起的一個(gè)或多個(gè)問題。

本發(fā)明的一個(gè)方面是提供一種壓印裝置以及利用該壓印裝置的壓印方法，其有助于防止在基板上形成圖案的工藝被平臺的平面度影響。

本發(fā)明額外的優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)將在隨后的描述中部分地進(jìn)行闡述，并且根據(jù)對下文的研究，這些優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)在某種程度上對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見的，或者可以通過實(shí)施本發(fā)明而獲悉。本發(fā)明的這些目的和其他優(yōu)點(diǎn)可以通過文字描述及其權(quán)利要求以及附圖中特別指出的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)和獲得。

為了實(shí)現(xiàn)這些和其他優(yōu)點(diǎn)，并且依照本文中詳述和概述的發(fā)明目的，提供了一種壓印裝置，包括：室單元，在室單元中進(jìn)行在基板上形成圖案的工藝；平臺，用于支撐基板，在該基板上形成有樹脂層，其中該平臺安裝在室單元中；安裝構(gòu)件，在該安裝構(gòu)件上貼附有模具構(gòu)件以改變樹脂層的形狀從而在基板上形成圖案，其中該安裝構(gòu)件安裝在室單元中并且位于平臺的上方；以及第一噴射單元，用于噴射流體從而使平臺所支撐的基板與該平臺分開，其中該第一噴射單元安裝在室單元中，其中該安裝構(gòu)件使模具構(gòu)件沿著逐漸靠近與平臺分開的基板的方向移動，從而使模具構(gòu)件與樹脂層彼此接觸。

在本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種壓印方法，包括以下步驟：將其上形成有樹脂層的基板放在平臺上，該平臺安裝在室單元中；使模具構(gòu)件與樹脂層接觸；以及依照模具構(gòu)件的形狀來改變樹脂層的形狀，其中使模具構(gòu)件與樹脂層接觸的工藝包括通過朝平臺所支撐的基板噴射流體而使該基板與該平臺分開。

應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明前面的概述和后面的詳述都是示范性和解釋性的，且用來提供所要求保護(hù)的發(fā)明的進(jìn)一步解釋。

附圖說明

所包括的附圖提供對本發(fā)明的進(jìn)一步的理解，附圖合并到說明書中并構(gòu)成說明書的一部分，圖解說明了本發(fā)明的實(shí)施例，并且連同文字描述一起用來解釋本發(fā)明的原理。在附圖中：

圖1是圖解說明根據(jù)本發(fā)明的壓印裝置的截面視圖；

圖2是圖解說明根據(jù)本發(fā)明的壓印裝置中的操作關(guān)系的截面視圖；

圖3和4是圖解說明根據(jù)本發(fā)明的平臺的平面圖；

圖5是圖解說明根據(jù)本發(fā)明改進(jìn)實(shí)施例的壓印裝置的截面視圖；以及

圖6是根據(jù)本發(fā)明的壓印方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在詳細(xì)地參考本發(fā)明的示范性實(shí)施例，附圖中圖解說明了本發(fā)明的多個(gè)例子。只要可能，在附圖中使用相同的附圖標(biāo)記表示相同或相似的部件。

在下文，參照附圖來描述根據(jù)本發(fā)明的壓印裝置。

圖1是圖解說明根據(jù)本發(fā)明的壓印裝置的截面視圖。圖2是圖解說明根據(jù)本發(fā)明的壓印裝置中的操作關(guān)系的截面視圖。圖3和4是圖解說明根據(jù)本發(fā)明的平臺的平面圖。圖5是圖解說明根據(jù)本發(fā)明改進(jìn)實(shí)施例的壓印裝置的截面視圖。

參考圖1，根據(jù)本發(fā)明的壓印裝置1包括：室單元2；平臺3；安裝構(gòu)件4；以及第一噴射單元5。