[發(fā)明專利]被加工物的加工方法、被加工物的分割方法及激光加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110146627.4
• 申請日: 2011-05-25
• 公開（公告）號: CN102294546A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發(fā)明（設計）人: 長友正平;中谷郁祥;菅田充
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/08;B23K26/42
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 孟銳

1.一種被加工物的加工方法，其是用于在被加工物上形成分割起點的加工方法，其特征在于包括：

載置步驟，將被加工物載置在平臺上；

透明物質配置步驟，將相對于所述被加工物的加工中所使用的脈沖激光為透明的透明物質鄰接地配置在所述平臺上所載置的所述被加工物的被加工面上；以及

照射步驟，通過以透過所述透明物質，且在所述被加工面上離散地形成每個單位脈沖光的被照射區(qū)域的方式對所述被加工物照射所述脈沖激光，而在所述被照射區(qū)域彼此之間依次產生所述被加工物的劈開或裂開，由此在所述被加工物上形成用于分割的起點。

2.根據權利要求1所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

所述脈沖激光是脈沖寬度為psec級的超短脈沖光。

3.根據權利要求1或2所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

所述透明物質配置步驟是將相對于被加工物的加工中所使用的脈沖激光實質上為透明的固體的透明構件鄰接地配置在所述平臺上所載置的所述被加工物的被加工面上的透明構件配置步驟，

在所述照射步驟中，通過以透過所述透明構件，且在所述被加工面上離散地形成每個單位脈沖光的被照射區(qū)域的方式對所述被加工物照射所述脈沖激光，而在所述被照射區(qū)域彼此之間依次產生所述被加工物的劈開或裂開，由此在所述被加工物上形成用于分割的起點。

4.根據權利要求3所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

在所述透明構件配置步驟中，使所述透明構件與所述被加工面接觸而配置。

5.根據權利要求3所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

在所述透明構件配置步驟中，將所述透明構件與所述被加工面以100μm以下的距離分開配置。

6.根據權利要求3所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

在所述透明構件配置步驟中，將所述透明構件以相對于所述被加工面之中包含所述脈沖激光的所述被照射位置的一部分區(qū)域鄰接的方式配置，并且對應于所述被照射位置的遷移而使配置位置遷移。

7.根據權利要求1或2所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

所述透明物質配置步驟是在所述平臺上所載置的所述被加工物的被加工面上，通過相對于所述被加工物的加工中所使用的脈沖激光為透明的液體形成液層的液層形成步驟，

在所述照射步驟中，通過以透過所述液層，且在所述被加工面上離散地形成每個單位脈沖光的被照射區(qū)域的方式對所述被加工物照射所述脈沖激光，而在所述被照射區(qū)域彼此之間依次產生所述被加工物的劈開或裂開，由此在所述被加工物上形成用于分割的起點。

8.根據權利要求7所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

在所述液層形成步驟中，至少在進行所述照射步驟的期間內，在所述平臺上所構成的儲存槽的內部使所述被加工物浸漬于所述液體中，由此在所述被加工面上形成所述液層。

9.根據權利要求7所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

在所述液層形成步驟中，至少在進行所述照射步驟的期間內，使所述液體連續(xù)地或斷續(xù)地流動，由此在所述被加工面上形成所述流液層。

10.根據權利要求1或2所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

以在所述被加工物的劈開或裂開容易方向上鄰接的方式形成由不同的所述單位脈沖光所形成的至少2個被照射區(qū)域。

11.根據權利要求1或2所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

使所述脈沖激光的射出源與所述被加工物相對移動，并使所述脈沖激光的射出方向在與該相對移動方向垂直的面內周期性地變化，由此在所述被加工物上形成滿足鋸齒狀的配置關系的多個所述被照射區(qū)域。

12.根據權利要求1或2所述的被加工物的加工方法，其特征在于：

使所述脈沖激光的多個射出源與所述被加工物相對移動，并使來自所述多個射出源的各個的所述單位脈沖光的照射時間點周期性地變化，由此在所述被加工物上形成滿足鋸齒狀的配置關系的多個所述被照射區(qū)域。