[發明專利]一種對位參數計算方法無效
| 申請號： | 201110143586.3 | 申請日： | 2011-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN102809899A | 公開（公告）日： | 2012-12-05 |
| 發明（設計）人： | 黃瑋;陳剛;陳輝;葉序明;沈佳;張艷;李平貴 | 申請（專利權）人： | 無錫華潤上華半導體有限公司;無錫華潤上華科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214028 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 對位 參數 計算方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種計算對位參數的算法，其中光刻曝光時當前層次5的對位層次3和套刻測試層次4不是同一層次，其特征在于：首先，在當前層次5的曝光文件中存在預設默認的對位參數a，對位層次是層次3；其次，加入當前套刻測試層次4對層次3的套刻c；然后，當前層次5的曝光參數為d＝a+c；之后，曝光并測量當前層次5對層次4的套刻；之后，根據測試結果計算需要補償的對位參數b；最后a和b相加得到新的a值，作為下一批次的預設默認對位參數。
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