[發明專利]光照射裝置無效
| 申請號: | 201110143534.6 | 申請日: | 2011-05-31 |
| 公開(公告)號: | CN102375261A | 公開(公告)日: | 2012-03-14 |
| 發明(設計)人: | 佐藤伸吾 | 申請(專利權)人: | 優志旺電機株式會社 |
| 主分類號: | G02F1/1333 | 分類號: | G02F1/1333 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人: | 胡建新 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 照射 裝置 | ||
1.一種光照射裝置,并列地配置了多個準分子燈,其特征在于:
接受上述準分子燈的放射光的照度傳感器被配置為與該準分子燈的縱長方向的一側的頂端相對應,受光面朝向準分子燈的中央部地傾斜。
2.根據權利要求1所記載的光照射裝置,其特征在于:
在收容準分子燈的箱體內具有劃分出處理區域的間隔壁,上述準分子燈穿過該處理區域地延伸,并且,上述照度傳感器設置在該間隔壁外部。
3.根據權利要求2所記載的光照射裝置,其特征在于:
上述準分子燈在與被處理物相反側的內面具有紫外線反射膜,上述照度傳感器被配置在與設有該反射膜側相反的一側。
4.根據權利要求2或3所記載的光照射裝置,其特征在于:
上述光照射裝置設有貫通上述間隔壁的筒狀的透光性部件,上述準分子燈配置于該透光性部件內,在該透光性部件內使冷卻風流通,并且上述照度傳感器配置于該冷卻風的上游側。
5.根據權利要求4所記載的光照射裝置,其特征在于:
上述準分子燈的供電線配置于上述冷卻風的上游側。
6.根據權利要求1所記載的光照射裝置,其特征在于:
上述光照射裝置在含有光敏材料的液晶面板的制造工序中應用,上述準分子燈是放射出在波長300nm~400nm具有發光峰值的光的燈。
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