[發明專利]一種具有集成光學諧振腔結構的微流控芯片生物傳感器無效
| 申請號： | 201110142468.0 | 申請日： | 2011-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN102401788A | 公開（公告）日： | 2012-04-04 |
| 發明（設計）人： | 曹暾;黃輝 | 申請（專利權）人： | 曹暾;黃輝 |
| 主分類號： | G01N21/41 | 分類號： | G01N21/41;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 116021 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 集成 光學 諧振腔 結構 微流控 芯片 生物 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有集成Fabry-Perot(FP)光學諧振腔結構的微流控芯片生物傳感器，其特征在于：在FP光學諧振腔內填充被測生物樣品，從而實現將微流槽結構與光學傳感器集成在一起，形成了檢測生物樣品折射率的單一集成傳感器。
2.所述的諧振腔是通過將兩塊鍍了反射鏡的襯底或外延片鍵合在一起形成的，其中的襯底或外延片在鍍反射鏡之前通過刻蝕形成凹槽結構。
3.所述的反射鏡由金屬膜(如Al、Ag、Au、Cu等)或介質膜系構成，其中的介質膜反射鏡是通過在襯底上交替生長不同折射率的薄膜而成，如Si/SiO2、TiO2/SiO2或GaAs/AlGaAs等薄膜。
4.所述的鍵合過程采用表面處理工藝(如等離子體或化學溶液等處理表面)或采用聚合物中間層方案，將兩塊襯底粘結在一起。
5.所述的襯底可以采用玻璃材料、有機材料或晶體材料，其中晶體材料包括硅、砷化鎵和磷化銦等半導體襯底。
6.所述的凹槽結構的特點是底部平坦，側面形狀不限，凹槽可以是矩形、圓弧形、或是多個矩形或弧形相互連接，凹槽的寬度在20納米至10厘米之間、高度在50納米至500微米之間。
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