[發(fā)明專利]一種基于阻變材料的三端全控型開關元件及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110140230.4
• 申請日: 2011-05-27
• 公開（公告）號: CN102208534A
• 公開（公告）日: 2011-10-05
• 發(fā)明（設計）人: 李福山;郭太良;吳朝興;張永志;寇麗杰;張永愛;葉蕓
• 申請（專利權）人: 福州大學
• 主分類號: H01L51/05
• 分類號: H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40;H01L45/00
• 代理公司: 福州元創(chuàng)專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學俊

1.?一種基于阻變材料的三端全控型開關元件，其特征在于，包括設置于同一平面的陽極與陰極；與陽極/陰極位于不同平面的門極；設置于陽極、陰極與門極之間的阻變薄膜,可通過門極輸入信號控制陽極與陰極之間的導電狀態(tài)，實現(xiàn)電路的通與斷。

2.根據(jù)權利要求1所述一種基于阻變材料的三端全控型開關元件，其特征在于，所述陽極與陰極設置于同一平面，且陽極/陰極處于電隔離狀態(tài)。

3.根據(jù)權利要求1所述一種基于阻變材料的三端全控型開關元件，其特征在于，所述門極設置于于陽極/陰極的頂部或者設置于陽極/陰極的底部。

4.根據(jù)權利要求1所述一種基于阻變材料的三端全控型開關元件，其特征在于，所述阻變薄膜包括無機材料、有機材料或者有機/無機復合材料。

5.根據(jù)權利要求1所述一種基于阻變材料的三端全控型開關元件，其特征在于，所述陽極與門極在垂直方向具有重疊區(qū)域；陰極與門極在垂直方向具有重疊區(qū)域。

6.根據(jù)權利要求1所述一種基于阻變材料的三端全控型開關元件，其特征在于，陽極和門極、陰極與門極之間的阻變薄膜具有電激勵阻變特性。

7.根據(jù)權利要求1所述一種基于阻變材料的三端全控型開關元件，其特征在于，門極作為控制信號的輸入端，可通過門極電信號控制陽極與門極重疊區(qū)域的薄膜的電阻值，及陰極與門極重疊區(qū)域的薄膜的電阻值，從而實現(xiàn)陰陽極的導通與關閉。

8.根據(jù)權利要求1所述一種基于阻變材料的三端全控型開關元件，其特征在于，開關導通時，電流流過的區(qū)域為陽極、陽極與門極重疊區(qū)域的膜層、門極、陰極與門極重疊區(qū)域的膜層、陰極。

9.一種基于阻變材料的三端全控型開關元件的制備方法，其特征在于，包括下列步驟：

(S1)在基板110上形成門極120，可以通過物理氣相沉積、化學氣相沉積或者電化學沉積等方法形成；

（S2）通過真空熱蒸發(fā)、磁控濺射或者旋涂等手段制備具有阻變特性的阻變薄膜，其中選用的薄膜材料具有電激勵阻變特性；

(S3)?通過物理氣相沉積、化學氣相沉積或者電化學沉積等方法在阻變薄膜層表面沉積陽極與陰極，通過光刻工藝形成陰、陽極的構圖，并使陽極與門極在垂直方向具有重疊區(qū)域，陰極與門極在垂直方向具有重疊區(qū)域。