[發明專利]一種帶有可縱向推拉的梳齒單元的射頻微機械開關

有效

• 申請號: 201110139909.1
• 申請日: 2011-05-27
• 公開（公告）號: CN102201298A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發明（設計）人: 王立峰;黃慶安;宋競;韓磊
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: H01H59/00
• 分類號: H01H59/00
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 湯志武

1.一種帶有可縱向推拉的梳齒單元的射頻微機械開關，其特征在于，包括襯底（1）、共面波導傳輸線和驅動部件；

所述的共面波導傳輸線包括信號線（2）和位于信號線（2）左右兩側的左地線（3）和右地線（4），信號線（2）分別與左地線（3）和右地線（4）之間留有間隙；信號線（2）包括呈縱向布置的上端口（21）和下端口（22），以及處于懸空狀態的相對的兩根細長梁（23）；左地線（3）、右地線（4）、上端口（21）和下端口（22）分別固定連接在襯底（1）上；細長梁（23）的下部通過彈性結構（231）固定連接在下端口（22）頂面的邊緣，細長梁（23）的頂端與上端口（21）的底面有間隙；

所述的驅動部件包括上錨區（5）、下錨區（7）、兩組上梳齒結構（6）和兩組下梳齒結構（8）；上錨區（5）和下錨區（7）呈縱向固定連接在襯底（1）上，并且位于兩根細長梁（23）之間；上梳齒結構（6）和下梳齒結構（8）均處于懸空狀態，并且每組上梳齒結構（6）和每組下梳齒結構（8）均分別包括設有固定梳齒的固定梳齒單元（61）和設有移動梳齒的移動梳齒單元（62）；在每組上梳齒結構（6）和每組下梳齒結構（8）中，固定梳齒和移動梳齒從上向下交叉分布，并且固定梳齒和移動梳齒之間有間隙；兩組上梳齒結構（6）位于上錨區（5）的兩側，在每組上梳齒結構（6）中，固定梳齒單元（61）水平固定連接在上錨區（5）的側壁上，移動梳齒單元（62）水平固定連接在細長梁（23）上；兩組下梳齒結構（8）位于下錨區（7）的兩側，其中固定梳齒單元（61）水平固定連接在下錨區（7）的側壁上，移動梳齒單元（62）水平固定連接在細長梁（23）上，下梳齒結構（8）中的固定梳齒和移動梳齒分布順序與上梳齒結構（6）中的固定梳齒和移動梳齒分布順序相反；移動梳齒單元（62）的移動可以使細長梁（23）的頂端和上端口（21）的底面貼合或者分離。

2.按照權利要求1所述的帶有可縱向推拉的梳齒單元的射頻微機械開關，其特征在于，還包括限位梁（9），該限位梁（9）連接在兩根細長梁（23）的上部，并且位于上錨區（5）的上方。