[發明專利]元件結構體、慣性傳感器以及電子設備

無效

• 申請號: 201110139088.1
• 申請日: 2011-05-26
• 公開（公告）號: CN102331514A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發明（設計）人: 高木成和
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125;G01C19/56
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種元件結構體，其特征在于，該元件結構體包含：

第1基板，其具有第1支撐層和第1可動梁，該第1可動梁的一個端部支撐在該第1支撐層的上方，且在該第1可動梁的另一個端部的周圍形成有空隙部；以及

第2基板，其與所述第1基板相對配置，并具有第2支撐層和形成于該第2支撐層上的第1固定電極，

在所述第1可動梁上形成有第1可動電極，所述第1固定電極與所述第1可動電極隔著間隙相對配置。

2.根據權利要求1所述的元件結構體，其特征在于，

在所述第1支撐層與所述第1可動梁之間、以及所述第2支撐層與所述第1固定電極之間中的至少一方形成有絕緣層。

3.根據權利要求1所述的元件結構體，其特征在于，

在所述第1基板上還設有第2固定電極，

在所述第2基板上還設有第2可動梁，該第2可動梁的一個端部支撐在所述第2支撐層的上方，且在該第2可動梁的另一個端部的周圍形成有空隙部，

在所述第2可動梁上形成有第2可動電極，

所述第2固定電極與所述第2可動電極隔著間隙相對配置。

4.根據權利要求3所述的元件結構體，其特征在于，

所述第1基板在平面視圖中被通過所述第1基板的中心的第1軸、和在所述中心與所述第1軸垂直的第2軸劃分為第1區域、第2區域、第3區域和第4區域，

在位于關于所述中心彼此點對稱的位置處的第1區域及第2區域的至少一部分中，配置有所述第1可動電極的形成區域，

在位于關于所述中心彼此點對稱的位置處的所述第3區域及所述第4區域的至少一部分中，配置有所述第2固定電極的形成區域，

所述第2基板在平面視圖中被劃分為與所述第1區域相對的第5區域、與所述第2區域相對的第6區域、與所述第3區域相對的第7區域、以及與所述第4區域相對的第8區域，

在所述第5區域及所述第6區域的至少一部分中配置有所述第1固定電極的形成區域，

在所述第7區域及所述第8區域的至少一部分中配置有所述第2可動電極的形成區域。

5.根據權利要求4所述的元件結構體，其特征在于，

所述第1可動電極形成于所述第1區域和所述第2區域中，

所述第1固定電極形成于所述第5區域和所述第6區域中，

所述第2可動電極形成于所述第7區域和所述第8區域中，

所述第2固定電極形成于所述第3區域和所述第4區域中。

6.根據權利要求1所述的元件結構體，其特征在于，

在所述第1基板與所述第2基板之間設有間隔部件。

7.根據權利要求6所述的元件結構體，其特征在于，

所述間隔部件呈框狀，

由所述第1基板、所述第2基板和所述間隔部件形成了內部形成有空間的密封體。

8.根據權利要求6所述的元件結構體，其特征在于，

所述間隔部件呈柱狀，并被設于所述第1基板與所述第2基板重疊的區域的中央附近。

9.根據權利要求6所述的元件結構體，其特征在于，

所述間隔部件具有：

樹脂芯部；以及

導電層，其形成為覆蓋所述樹脂芯部的表面的至少一部分。

10.一種慣性傳感器，其特征在于，該慣性傳感器具有：

權利要求1所述的元件結構體；以及

對從所述元件結構體輸出的電信號進行處理的信號處理電路。

11.一種電子設備，其特征在于，該電子設備具有權利要求1所述的元件結構體。