[發明專利]高聚光倍數太陽能電池的散熱器及制造方法

有效

• 申請號: 201110132005.6
• 申請日: 2011-05-20
• 公開（公告）號: CN102208472A
• 公開（公告）日: 2011-10-05
• 發明（設計）人: 林志偉;張銀橋;蔡建九;張永;陳凱軒;單智發;張雙翔;占榮;王向武
• 申請（專利權）人: 廈門乾照光電股份有限公司
• 主分類號: H01L31/052
• 分類號: H01L31/052;H01L31/18
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司 35203
• 代理人: 李寧;唐紹烈

1.高聚光倍數太陽能電池的散熱器，其特征在于：由銅薄層、銀銅鈦合金層、金剛石膜、銀銅鈦合金層和銅底座組成，在聚光太陽能電池底下形成銅薄層，銅薄層下面形成銀銅鈦合金層，此銅薄層和銀銅鈦合金層上形成絕緣通道，銀銅鈦合金層下面形成金剛石膜，金剛石膜下面再形成銀銅鈦合金層，銀銅鈦合金層下面形成銅底座，銅底座中形成冷卻水通道。

2.根據權利要求1所述的高聚光倍數太陽能電池的散熱器，其特征在于：所述冷卻水通道的上端為方形結構。

3.根據權利要求1所述的高聚光倍數太陽能電池的散熱器，其特征在于：所述銅薄層厚度為50～100μm。

4.高聚光倍數太陽能電池的散熱器制造方法，其特征在于通過以下步驟來實現：

首先利用電子輔助熱絲化學氣相沉積法，在鉬襯底上沉積金剛石膜；

利用磁控濺射化學氣相沉積法，在真空反應室里充氫氣保護，磁控濺射蒸鍍鈦與金剛石結合，在金剛石膜上下面表層形成碳化鈦結構；

利用磁控濺射化學氣相沉積法蒸鍍銀銅合金與金剛石表層的碳化鈦結合，在碳化鈦表層形成銀銅鈦合金層；

利用激光焊接技術，將金剛石膜底下的銀銅鈦合金層與銅底座焊接在一起，銅底座的冷卻水通道上端為方形結構；將金剛石膜上面的銀銅鈦合金與銅薄層焊接在一起；再把聚光太陽能電池焊接到銅薄層上；

最后利用激光直寫方法，在金剛石膜上面的銀銅鈦合金層和銅薄層去掉一個絕緣通道。

5.根據權利要求4所述的高聚光倍數太陽能電池的散熱器制造方法，其特征在于：所述金剛石膜的厚度為200～300μm。

6.根據權利要求4所述的高聚光倍數太陽能電池的散熱器制造方法，其特征在于：所述碳化鈦結構的厚度為0.01～0.02μm。

7.根據權利要求4所述的高聚光倍數太陽能電池的散熱器制造方法，其特征在于：所述銀銅鈦合金層的厚度為0.05～0.10μm。

8.根據權利要求4所述的高聚光倍數太陽能電池的散熱器制造方法，其特征在于：所述絕緣通道寬1mm深0.15μm。