[發明專利]三氯氫硅濕法除塵裝置和除塵工藝

無效

• 申請號: 201110130783.1
• 申請日: 2011-05-19
• 公開（公告）號: CN102259869A
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發明（設計）人: 趙華
• 申請（專利權）人: 天津市華瑞奕博化工科技有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 葉青

1.一種三氯氫硅濕法除塵裝置，其特征在于，包括下部側壁設置有合成氣進料口的除塵精餾塔，所述除塵精餾塔頂部通過汽相連通管線連通于冷凝器，所述冷凝器底部通過液相連通管線連通于所述除塵精餾塔塔頂，所述冷凝器頂部設置有單體混合物出料口；所述除塵精餾塔塔底通過液相連通管線連通于攪拌釜下部，所述攪拌釜頂部通過汽相連通管線連通于所述除塵精餾塔塔底，所述攪拌釜底部設置有殘液排出口。

2.根據權利要求1所述的一種三氯氫硅濕法除塵裝置，其特征在于，所述攪拌釜選自渦輪式攪拌釜、槳式攪拌釜、錨式攪拌釜或螺帶式攪拌釜其中的一種。

3.根據權利要求2所述的一種三氯氫硅濕法除塵裝置，其特征在于，所述攪拌釜為槳式攪拌釜。

4.根據權利要求1所述的一種三氯氫硅濕法除塵裝置，其特征在于，所述除塵精餾塔是上段為填料、下段為塔板的復合塔。

5.根據權利要求4所述的一種三氯氫硅濕法除塵裝置，其特征在于，所述填料選自規整填料或散堆填料。

6.根據權利要求5所述的一種三氯氫硅濕法除塵裝置，其特征在于，所述填料為規整填料。

7.根據權利要求4所述的一種三氯氫硅濕法除塵裝置，其特征在于，所述塔板為抗堵型塔板。

8.一種利用如權利要求1至7任一項所述三氯氫硅濕法除塵裝置的除塵工藝，其特征在于，該工藝包括如下步驟：

a.將三氯氫硅合成氣由除塵精餾塔的合成氣進料口通入除塵精餾塔，三氯氫硅合成氣進料組成按照質量百分比由以下組分構成：H₂：1％～2％，HCl：8％～10％，SiHCl₃：80％～82％，SiCl₄：7％～8％，重組分雜質：0.3％～0.6％，除塵精餾塔操作壓力為120～150kpa；

b.三氯氫硅合成氣中的輕組分上升富集通過汽相連通管線進入冷凝器；

c.冷凝器采用部分冷凝，汽相由單體混合物出料口采出，液相由液相連通管線回流至除塵精餾塔，回流比為0.2-0.8；

d.三氯氫硅合成氣中的重組分雜質隨回流的液相下落至除塵精餾塔；

e.回流液在除塵精餾塔內不斷汽化不斷冷凝，最終由液相連通管線進入攪拌釜，攪拌釜加熱溫度為90℃～100℃；

f.攪拌釜中的汽相由汽相連通管線返回除塵精餾塔，未汽化的殘液由殘液排出口采出。