[發(fā)明專利]硅麥克風的制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110130688.1 | 申請日： | 2011-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN102196352A | 公開（公告）日： | 2011-09-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 顏毅林;張小麟;孟珍奎;楊斌;張睿;葛舟;王琳琳 | 申請（專利權(quán)）人： | 瑞聲聲學科技(深圳)有限公司;瑞聲科技(新加坡)有限公司 |
| 主分類號： | H04R31/00 | 分類號： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 麥克風 制造 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種制造硅麥克風的方法，其特征在于：該方法包括如下步驟：
步驟1：提供一硅基底，硅基底表面上沉積第一絕緣層，在第一絕緣層上沉積振膜；
步驟2：在第一絕緣層和振膜上沉積一定厚度的氧化硅以作為支撐層，在該支撐層上沉積第二絕緣層；
步驟3：在所述第二絕緣層上沉積背板，在背板上刻蝕出貫穿背板的聲孔；
步驟4：在硅基底和第一絕緣層上刻蝕出貫穿二者的背腔；
步驟5：通過聲孔釋放與振膜振動部分相對的支撐層以形成振動空間。
2.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅麥克風的制造方法，其特征在于：所述背板設(shè)有與振動空間相對的主體部、自主體部延伸而出并與支撐層固定連接的第一邊緣部，所述支撐層沉積的厚度使得第一邊緣部與主體部同處一個平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅麥克風的制造方法，其特征在于：所述振膜和基底相互平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任意一項所述的硅麥克風的制造方法，其特征在于：在支撐層上利用光刻形成若干凹槽，第二絕緣層沉積入凹槽并在朝向振膜的一側(cè)形成突起。
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