[發明專利]含2,1,4-重氮萘醌磺酸酚酯的化學增幅型i-線正性光致抗蝕劑組合物

無效

• 申請號: 201110130217.0
• 申請日: 2011-05-19
• 公開（公告）號: CN102156385A
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發明（設計）人: 王力元;徐娜
• 申請（專利權）人: 北京師范大學
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/022
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種化學增幅型正性光致抗蝕劑組合物，其包括以下組分：

(A)60wt％-90wt％N-羥基馬來海松酸酰亞胺酯縮醛聚合物或丙烯海松酸酯縮醛聚合物，分別如下通式(I)、(II)所示：

聚合物(I)為N-羥基馬來海松酸酰亞胺與各種二乙烯基醚反應所得的產物，聚合物(II)為丙烯海松酸與各種二乙烯基醚反應所的產物，這二類聚合物的數均分子量均在3500-15000的范圍內；其中，

R1為：

或者為：此時，m＝2-6；

或者為：-CH₂CH₂OCH₂CH₂-；

(B)10wt％-40wt％2，1，4-重氮萘醌磺酸酯感光劑，如下通式(III)所示：

其中，m為1-4，R₂為衍生于含有酚羥基化合物酯化母體或接枝母體的殘基；

(C)2wt％以下的添加劑；

以上所有百分數基于所述抗蝕劑組合物除溶劑外的總質量，且其總和為100wt％；

(D)有機溶劑。

2.根據權利要求1所述的組合物，其中所用的二乙烯基醚為1，4-二乙烯氧基環己烷、1，4-二乙烯氧基甲基環己烷、1，2-二乙烯氧基乙烷、1，3-二乙烯氧基丙烷、1，4-二乙烯氧基丁烷、1，6-二乙烯氧基己烷、二乙烯氧基乙基醚。

3.根據權利要求2所述的組合物，其中所用的二乙烯基醚優選1，4-二乙烯氧基環己烷、1，4-二乙烯氧基甲基環己烷、1，2-二乙烯氧基乙烷、1，3-二乙烯氧基丙烷或1，4-二乙烯氧基丁烷。

4.根據權利要求1所述的組合物，其中R₂為衍生于多酚羥基化合物的殘基，如由苯酚或取代苯酚所生成的多酚類化合物，間苯二酚與酮類或醛類或酰氯類或酸酐類或烯烴反應所生成的多酚類化合物，連苯三酚與酮類或醛類或酰氯類或酸酐類或烯烴反應所生成的多酚類化合物，其他多元酚如鄰苯二酚、對苯二酚、間苯三酚或偏苯三酚與酮類或醛類或酰氯類或酸酐類反應所生成的多酚類化合物。

5.根據權利要求4所述的組合物，其中R₂衍生于2，3，4-三羥基二苯甲酮、2，4，4′-三羥基二苯甲酮、2，2′，4-三羥基二苯甲酮、2，3，4，4′-四羥基二苯甲酮、2，2′，3，4-四羥基二苯甲酮、2，2′，4，4′-四羥基二苯甲酮、2，3，4-三羥基苯乙酮或2，4-二羥基苯乙酮。

6.根據權利要求1所述的組合物，其中聚合物選擇N-羥基馬來海松酸酰亞胺酯縮醛聚合物或丙烯海松酸酯縮醛聚合物中的一種或幾種；感光劑選擇2，1，4-重氮萘醌磺酸酚酯類化合物中的一種或幾種。

7.根據權利要求1所述的組合物，其中添加劑為固含量0.2wt％-1.0wt％的酸擴散抑制劑。

8.根據權利要求7所述的組合物，其中酸擴散抑制劑為各種有機堿，優選三辛胺、三乙醇胺、三戊胺、二辛胺、二乙醇胺、三丁胺。

9.根據權利要求1所述的組合物，其中有機溶劑為丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯、環己酮、二氧六環、乙二醇獨乙醚中的至少一種。

10.根據權利要求9所述的組合物，其中有機溶劑為丙二醇甲醚醋酸酯，用量使所述抗蝕劑組合物的固含量為10％-40％。