[發明專利]探針

無效

• 申請號: 201110129286.X
• 申請日: 2011-05-18
• 公開（公告）號: CN102313827A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發明（設計）人: 木本軍生
• 申請（專利權）人: 木本軍生
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 馬鐵良

1.一種探針，包括：

在具有朝垂直方向延伸的垂直探針、及朝垂直方向與交叉方向延伸的直線或曲線形狀，一端連接固定端，另一端則與上述垂直探針連接成多數水平懸臂梁所構成之含連桿機構的一第1變形部探針；

自水平懸臂梁延伸之上述垂直探針的垂直延長部，是從上述垂直延長部之垂直方向長度而大致呈中心的位置，朝上述固定端方向形成出具備水平懸臂梁部的一第2變形部；

其特征在于：藉由讓隨著過量驅動，而在上述第1變形部的上述垂直探針上，施加負載的彎曲力矩，朝相抵方向而在以上述第2變形部為主的上述水平懸臂梁部上，同時發揮彎曲力矩作用，讓上述垂直探針尖端的水平位移即擦凈變得相當微小。

2.如權利要求1所述之探針，其特征在于：上述第1變形部為懸臂，上述第2變形部則自上述懸臂開口端，朝向大致呈垂直方向所連接。

3.一種探針，包括：

在具有朝垂直方向延伸的垂直探針、及朝垂直方向與交叉方向延伸的直線或曲線形狀，一端連接固定端，另一端則與上述垂直探針連接成1對水平懸臂梁而構成之含連桿機構探針，上述1對水平懸臂梁的相對間距呈連續或不連續變化的探針；

其特征在于：位于上述垂直探針尖端即受檢電極焊墊側相反端的水平懸臂梁，與垂直探針呈銳角，且對上述水平懸臂梁水平方向的角度范圍在1度乃至3度。

4.如權利要求1所述之探針，其特征在于：接觸受檢焊墊的垂直探針尖端為大致呈平面，對上述尖端平面水平方向即受檢電極焊墊面方向的角度范圍是5度乃至10度，且接觸受檢焊墊的銳角側曲率半徑為2μm以下。

5.如權利要求1所述之探針，其特征在于：上述垂直探針尖端的水平位移即擦凈在2μm以下。

6.如權利要求1所述之探針，其特征在于：在過量驅動的所有動作范圍內，對于1個上述垂直探針的受檢焊墊接觸力在20mN以下。

7.如權利要求2所述之探針，其特征在于：上述垂直探針開始接觸受檢電極焊墊，而在過量驅動的所有動作范圍內負載接觸力，且于結束接觸后而解除接觸力的過程中，使受檢電極焊墊表面的氧化皮膜或電極焊墊材料并未剝離。

8.如權利要求2所述之探針，其特征在于：上述第1變形部及前述第2變形部，是由使用金屬箔如鈹銅等黏著的樹脂薄膜，蝕刻加工上述金屬箔，而形成于樹脂薄膜上的導電體。

9.如權利要求2所述之探針，其特征在于：上述第1變形部及上述第2變形部，是由蝕刻加工金屬箔如鈹銅等所形成之導電體構成。