[發(fā)明專利]一種彩色太陽能電池的制作方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110129017.3 | 申請(qǐng)日: | 2011-05-17 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102790124A | 公開(公告)日: | 2012-11-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃惠東;廖新煥;陳永虹;鄭智雄;張偉娜 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 南安市三晶陽光電力有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18 |
| 代理公司: | 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司 35204 | 代理人: | 張松亭 |
| 地址: | 362000 福建省*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 彩色 太陽能電池 制作方法 | ||
1.一種彩色太陽能電池的制作方法,包括以下步驟:
(1)選取硅片,制作絨面和清洗;
(2)擴(kuò)散形成PN結(jié),方塊電阻范圍30-150Ω/□;
(3)等離子刻蝕硅片邊緣;
(4)去PSG;
(5)PN結(jié)表面生長第一層光學(xué)薄膜;
(6)絲網(wǎng)印刷前后電極;
(7)燒結(jié);
(8)清洗第一層光學(xué)薄膜及電極表面;
(9)在表面上生長第二層光學(xué)薄膜或多層光學(xué)膜,匹配出所需要的色彩;
(10)去除沉積在表面主柵電極上的薄膜。
2.如權(quán)利要求1所述的一種彩色太陽能電池的制作方法,其特征在于:步驟(5)中所述第一層光學(xué)薄膜,厚度在1nm-200nm,折射率在1.3-3.0,具有鈍化功能。
3.如權(quán)利要求1所述的一種提高太陽能電池效率的方法,其特征在于:步驟(9)中所述的第二層光學(xué)薄膜,厚度在5nm-300nm,折射率在1.3-2.5,與第一層光學(xué)薄膜匹配出所需要的色彩,不要求鈍化功能。
4.如權(quán)利要求1所述的一種彩色太陽能電池的制作方法,其特征在于:步驟(5)、步驟(9)中所述光學(xué)薄膜的材質(zhì)包括MgF2、SiO2、Al2O3、Si3N4、TiO2、Ta2O5或ZnS。
5.如權(quán)利要求1所述的一種彩色太陽能電池的制作方法,其特征在于:步驟(5)、步驟(9)中所述的雙層光學(xué)薄膜選用材料的折射率差值不小于0.3。
6.如權(quán)利要求1所述的一種彩色太陽能電池的制作方法,其特征在于:步驟(8)所述的清洗方式包含物理方式或化學(xué)方式。
7.如權(quán)利要求1所述的一種彩色太陽能電池的制作方法,其特征在于:步驟(1)選用的硅片電阻率0.1-100Ω·cm,厚度100-500um。
8.如權(quán)利要求1所述的一種彩色太陽能電池的制作方法,其特征在于:步驟(10)所述的去除方法包括物理法和化學(xué)法。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





