[發(fā)明專利]用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置及其方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110128548.0
• 申請日: 2011-05-18
• 公開（公告）號: CN102179631A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙裕興;余建華
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州德龍激光有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/08;G02B6/00
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 32102
• 代理人: 王玉國;陳忠輝

1.用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置，其特征在于：包括CO₂激光器、多維運動掃描振鏡和運動工作平臺，所述CO₂激光器為波長是10.6μm的CO₂激光器，CO₂激光器的輸出端設(shè)置有多維運動掃描振鏡，所述多維運動掃描振鏡正對于運動加工平臺。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的裝置，其特征在于：所述CO₂激光器的輸出端與多維運動掃描振鏡之間布置有激光開關(guān)。

3.利用權(quán)利要求1所述的裝置用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于：CO₂激光器發(fā)出的激光經(jīng)過多維運動掃描振鏡后，到達(dá)運動加工平臺，CO₂激光作用于運動加工平臺上的被加工材料，被加工材料受激光作用后形成一個100～1000μm微坑，通過高速控制激光開關(guān)，以1～20KHz頻率每秒鐘形成1000～20000個微坑，在多維運動掃描振鏡帶動激光反射片轉(zhuǎn)動下，激光形成一個光學(xué)掃描區(qū)域，掃描區(qū)域大小為多維運動掃描振鏡掃描區(qū)域，配合運動加工平臺帶動導(dǎo)光板的運動，使激光加工區(qū)域增大，即多維運動掃描振鏡與運動加工平臺聯(lián)動，或多維運動掃描振鏡掃描一個區(qū)域后、運動加工平臺移動至下一個區(qū)域再掃描，因此在總的掃描區(qū)域內(nèi)形成一個微坑分布，微坑分布是獨立微坑，或者是不同密度的微坑群，或者是相連的微坑串而形成微槽，單個微坑結(jié)構(gòu)的深度在10～100μm，長度在100～1000μm，寬度在100～600μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于：單個位置打單個或多個點，運動加工平臺在加工過程中不移動；開始加工時，運動加工平臺移動至多維運動掃描振鏡下方相應(yīng)的位置，然后多維運動掃描振鏡移動至打點的理論位置停止不動，延時100～600us，多維運動掃描振鏡停穩(wěn)，CO₂激光器出多個脈沖的激光，激光打在同一位置，激光加工一個位置點之后，多維運動掃描振鏡再移動至下一個理論位置，延時，CO₂激光器再出激光，重復(fù)進(jìn)行，直到所有的位置點加工結(jié)束，然后運動加工平臺退出。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于：多維運動掃描振鏡不停的獨立運動，CO₂激光器出激光，運動加工平臺移動至多維運動掃描振鏡下方停止不動；首先運動加工平臺移動至多維運動掃描振鏡的下方相應(yīng)位置，定好加工的位置，然后多維運動掃描振鏡按路徑進(jìn)行連續(xù)運動，路徑為一條連續(xù)的多義線，當(dāng)多維運動掃描振鏡開始進(jìn)行一條規(guī)劃的路徑時，CO₂激光器打開，按1K～25K的頻率出激光，當(dāng)規(guī)劃的路徑結(jié)束時，關(guān)掉CO₂激光器，不出激光，然后多維運動掃描振鏡運動到下一條規(guī)劃路徑的起點，再開始運動，同時又打開激光，一直重復(fù)，直到所有的路徑線條完成，加工結(jié)束后運動加工平臺退出。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于加工大幅面導(dǎo)光板的方法，其特征在于：單個位置打多個點，之后多維運動掃描振鏡再移至下一個點，加工過程中運動加工平臺與多維運動掃描振鏡交替進(jìn)行；首先運動加工平臺運動至相應(yīng)的加工位置，然后運動加工平臺停止延時，多維運動掃描振鏡運動到規(guī)劃位置，表現(xiàn)為加工的單點，然后多維運動掃描振鏡停止延時，CO₂激光器出單個或多個激光脈沖，加工結(jié)束后多維運動掃描振鏡移到下一個加工位置，接下來CO₂激光器再出單個或多個激光脈沖，重復(fù)下去，直至整個圖形中的一塊的點加工結(jié)束，運動加工平臺移動相應(yīng)的位置，接下來再重復(fù)上面的過程加工完成第二塊區(qū)域的點，直到所有的塊加工完成，每塊通過拼接而形成一個完整的圖形。