[發(fā)明專利]束流傳輸系統(tǒng)及其傳輸方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110127861.2
• 申請日: 2011-05-17
• 公開（公告）號: CN102791073A
• 公開（公告）日: 2012-11-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 上海凱世通半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H05H1/16
• 分類號: H05H1/16
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 薛琦;朱水平

1.一種束流傳輸系統(tǒng)，其包括一束流出射裝置、一作為束流傳輸終點(diǎn)的目標(biāo)工件以及相互平行地設(shè)置于束流傳輸路徑兩側(cè)的一第一桿狀四極磁鐵與一第二桿狀四極磁鐵，其特征在于，所述第一桿狀四極磁鐵和第二桿狀四極磁鐵分別具有一鐵芯，其中在束流沿所述第一桿狀四極磁鐵的鐵芯和第二桿狀四極磁鐵的鐵芯的中心的連線方向在所述第一桿狀四極磁鐵的鐵芯和第二桿狀四極磁鐵的鐵芯上的投影區(qū)域外，沿所述第一桿狀四極磁鐵的鐵芯和第二桿狀四極磁鐵的鐵芯的長度方向還分別設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)相互獨(dú)立的線圈，其中分別設(shè)置于所述第一桿狀四極磁鐵與所述第二桿狀四極磁鐵的鐵芯的相同位置上的線圈相互對應(yīng)，并且所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵的各個(gè)線圈的電流值均是可調(diào)的。

2.如權(quán)利要求1所述的束流傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵的各個(gè)線圈的電流方向均是可調(diào)的。

3.如權(quán)利要求1或2所述的束流傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述第一桿狀四極磁鐵和第二桿狀四極磁鐵的鐵芯長度方向與束流傳輸路徑方向垂直。

4.如權(quán)利要求1所述的束流傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述束流出射裝置為一離子束源。

5.如權(quán)利要求4所述的束流傳輸系統(tǒng)，其特征在于，所述目標(biāo)工件為一晶圓。

6.一種如權(quán)利要求2所述的束流傳輸系統(tǒng)的束流傳輸方法，其特征在于包括以下步驟：

S₁₀₁、使所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流方向相同，所述束流出射裝置發(fā)射束流；

S₁₀₂、通過分別調(diào)整各對相互對應(yīng)線圈中位于所述第一桿狀四極磁鐵的線圈和所述第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流值的和來調(diào)節(jié)通過所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵所在平面的束流，沿所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵的中線的連線方向，相對于束流傳輸路徑的第一偏轉(zhuǎn)角度；

S₁₀₃、確定并保持所述相互對應(yīng)線圈的電流值的和，然后通過分別調(diào)節(jié)各對相互對應(yīng)線圈中位于所述第一桿狀四極磁鐵的線圈和位于第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流值的差來調(diào)節(jié)通過所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵所在平面的束流，沿平行于所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵的中心線的方向的第二偏轉(zhuǎn)角度；

S₁₀₄、將經(jīng)過整體偏轉(zhuǎn)的束流注入目標(biāo)工件。

7.如權(quán)利要求6所述的束流傳輸方法，其特征在于，所述第一偏轉(zhuǎn)角度與各對所述相互對應(yīng)線圈中位于所述第一桿狀四極磁鐵的線圈和位于第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流值的和成正比。

8.如權(quán)利要求6或7所述的束流傳輸方法，其特征在于，所述第二偏轉(zhuǎn)角度與各對所述相互對應(yīng)線圈中位于所述第一桿狀四極磁鐵的線圈和位于第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流值的差成正比。

9.一種如權(quán)利要求2所述的束流傳輸系統(tǒng)的束流傳輸方法，其特征在于包括以下步驟：

S₂₀₁、使所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流方向相反，所述束流出射裝置發(fā)射束流；

S₂₀₂、通過分別調(diào)整各對相互對應(yīng)線圈中位于所述第一桿狀四極磁鐵的線圈和位于第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流值的和來調(diào)節(jié)通過所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵所在平面的束流，沿平行于所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵的中心線的方向的第二偏轉(zhuǎn)角度；

S₂₀₃、確定并保持所述相互對應(yīng)線圈的電流值的和，然后通過分別調(diào)節(jié)各對相互對應(yīng)線圈中位于所述第一桿狀四極磁鐵的線圈和位于第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流值的差來調(diào)節(jié)通過所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵所在平面的束流，沿所述第一桿狀四極磁鐵和所述第二桿狀四極磁鐵的中線的連線方向，相對于束流傳輸路徑的第一偏轉(zhuǎn)角度；

S₂₀₄、將經(jīng)過整體偏轉(zhuǎn)的束流注入目標(biāo)工件。

10.如權(quán)利要求9所述的束流傳輸方法，其特征在于，所述第二偏轉(zhuǎn)角度與各對所述相互對應(yīng)線圈中位于所述第一桿狀四極磁鐵的線圈和位于第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流值的和成正比。

11.如權(quán)利要求9或10所述的束流傳輸方法，其特征在于，所述第一偏轉(zhuǎn)角度與各對所述相互對應(yīng)線圈中位于所述第一桿狀四極磁鐵的線圈和位于第二桿狀四極磁鐵的線圈的電流值的差成正比。