[發明專利]機床用超長光柵尺逆輥壓印成型方法

有效

• 申請號: 201110127212.2
• 申請日: 2011-05-17
• 公開（公告）號: CN102169289A
• 公開（公告）日: 2011-08-31
• 發明（設計）人: 劉紅忠;李烜;史永勝;尹磊;馮龍;楊俊;丁玉成;盧秉恒
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G01B11/02
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 徐文權

1.機床用超長光柵尺逆輥壓印成型方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)光柵尺胚表面處理：選擇金屬帶、陶瓷或玻璃作為光柵尺胚，對尺胚表面進行等離子氣處理；

2)制作光柵模具：選擇殷鋼、Ni或者Cr作為光柵模具基材，采用激光刻蝕、機械刻劃或電化學/化學腐蝕方法制作表面有微結構的輥筒形光柵模具；

3)網紋輥表面滾膠：在網紋輥表面滾涂一層紫外光固化膠；

4)使用刮刀將網紋輥表面多余膠料刮去；

5)采用超聲波霧化工藝，在光柵模具表面涂覆一層脫模劑；

6)將光柵模具與網紋輥相對轉動，將網紋輥上的紫外光固化膠膠料轉移并填充至光柵模具沿圓周線分布的光柵柵線凹槽內；

7)將光柵模具表面的紫外光固化膠進行UV弱固化；

8)將光柵模具與處理后光柵尺胚接觸，并對接觸面加壓，光柵模具在電機動力下旋轉，光柵尺胚隨光柵模具做同步平面運動，將光柵模具表面的紫外光固化膠微結構轉移至光柵尺胚上；

9)對轉印后的光柵尺胚進行UV固化定型后，即完成光柵尺逆輥壓印成型過程。

2.按照權利要求1所述的機床用超長光柵尺逆輥壓印成型方法，其特征在于，所述光柵模具長為50mm～300mm；直徑為Φ50mm～Φ500mm，表面均布柵線，柵線寬為100nm～500μm，柵線間距為100nm～500μm，柵線深＜100μm。

3.按照權利要求1所述的機床用超長光柵尺逆輥壓印成型方法，其特征在于，所述網紋輥的直徑為Φ50mm～Φ500mm，線數為100～1400線/英寸，網紋輥轉動圓周線速度與光柵模具圓周線速度相同。

4.按照權利要求1所述的機床用超長光柵尺逆輥壓印成型方法，其特征在于，所述步驟7)、9)中光柵模具表面的紫外光固化膠進行UV弱固化、UV固化，UV弱固化、UV固化時間為0.1s～10s。

5.按照權利要求1所述的機床用超長光柵尺逆輥壓印成型方法，其特征在于，所述步驟8)中光柵模具通過支撐輥實現紫外光固化膠微結構轉移至光柵尺胚基材表面，支撐輥通過氣缸控制與光柵模具間的壓應力；光柵尺胚基材與光柵模具做同步平面運動的同步速度為0.1～50m/min；光柵模具輥壓壓應力為10MPa-60MPa。