[發明專利]一種等離子體診斷用顯微鏡瞄準裝置及其應用方法

有效

• 申請號: 201110121077.0
• 申請日: 2011-05-11
• 公開（公告）號: CN102778748A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 穆寶忠;王新;王占山;黃怡;伊圣振
• 申請（專利權）人: 同濟大學
• 主分類號: G02B21/00
• 分類號: G02B21/00;G02B23/00;G02B7/00
• 代理公司: 上?？剖⒅R產權代理有限公司 31225
• 代理人: 趙繼明

1.一種等離子體診斷用顯微鏡瞄準裝置，設置在施瓦茲希爾德顯微鏡上，所述的施瓦茲希爾德顯微鏡包括定位顯微鏡、副鏡、主鏡、真空管道、CCD探測器，所述的真空管道的一端通過法蘭件與CCD探測器連接，所述的真空管道的管壁上對稱設有與真空管道相通的長連接管和短連接管，其特征在于，該瞄準裝置包括直線導入器、平面反射鏡、發光源、玻璃板、網格片，所述的直線導入器通過法蘭件與設置在真空管道上的短連接管連接，所述的平面反射鏡設置在真空管道內，與可帶動平面反射鏡導入導出的直線導入器連接，所述的網格片粘貼在玻璃板上，粘貼有網格片的玻璃板設置在與真空管道相通的長連接管的一端，通過法蘭蓋固定，所述的發光源設置在法蘭蓋的外側，其發出的光穿過玻璃片，經平面反射鏡反射后，通過副鏡和主鏡后成像。

2.根據權利要求1所述的一種等離子體診斷用顯微鏡瞄準裝置，其特征在于，所述的直線導入器與短連接管的連接處設有密封圈。

3.根據權利要求1所述的一種等離子體診斷用顯微鏡瞄準裝置，其特征在于，所述的玻璃板與長連接管的連接處、玻璃板與法蘭蓋的連接處均設有密封圈。

4.根據權利要求2或3所述的一種等離子體診斷用顯微鏡瞄準裝置，其特征在于，所述的密封圈為氟橡膠密封圈。

5.根據權利要求1所述的一種等離子體診斷用顯微鏡瞄準裝置，其特征在于，所述的發光源發出可見光。

6.根據權利要求1所述的一種等離子體診斷用顯微鏡瞄準裝置，其特征在于，所述的定位顯微鏡的放大率為50～100倍、景深為4.3～6.7μm。

7.一種如權利要求1所述的等離子體診斷用顯微鏡瞄準裝置的應用方法，其特征在于，該應用方法包括以下步驟：

1)取下CCD探測器，在真空管道與CCD探測器的連接法蘭件中心放置一網格片，可見光照射到該網格片，網格片先后經副鏡、主鏡后成像；

2)通過定位顯微鏡對步驟1)中的成像進行定位，并鎖定定位顯微鏡；

3)利用直線導入器將平面反射鏡導入真空管道，發光源發出可見光透過玻璃板照射到設置在玻璃板上的網格片，網格片先后經過平面反射鏡、副鏡和主鏡成像；

4)調整玻璃板上的網格片的位置，使該網格片經平面反射鏡、副鏡和主鏡所成的像與步驟2)中由定位顯微鏡所定位的成像重合，然后將CCD探測器與真空管道連接；

5)調整靶的位置，使靶與步驟4)中定位顯微鏡所定位的的網格片所成的像重合；

6)對施瓦茲希爾德顯微鏡進行抽真空，然后重復步驟5)，進一步調整靶的位置，然后利用直線導入器將平面反射鏡導出真空管道，完成對靶的瞄準定位。