[發明專利]利用自動成像設備來聚焦到樣本上的方法

有效

• 申請號: 201110120109.5
• 申請日: 2007-11-27
• 公開（公告）號: CN102176245A
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: 邁克爾·扎赫尼塞爾
• 申請（專利權）人: 西泰克公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G02B21/24
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種利用自動成像設備來聚焦到樣本上的方法，所述方法包括：

(a)利用所述成像設備在不同聚焦高度處獲得所述樣本的三幅數字圖像，所述數字圖像包括多個像素；

(b)為所述三幅數字圖像中的每一幅計算Brenner自動聚焦評分；

(c)使一個取冪的二次函數擬合于由所述三個聚焦高度和相應的圖像Brenner評分所構成的(x，y)點；

(d)基于步驟(c)的所述函數移動到新的聚焦高度，獲取新的圖像，并且計算所述新的圖像的所述Brenner評分；以及

(e)重復步驟(d)，直到達到理想聚焦高度。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，在根據之前的數據點計算出的所述擬合函數的峰處獲取每幅新圖像。

3.根據權利要求2所述的方法，其中，當擬合函數高度處于之前的函數高度估計的特定閾值之內時達到理想聚焦高度，其中，所述擬合函數高度是在將新的數據點結合到所述擬合中時估計出的。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，僅利用目前為止找到的具有最高評分的數據點、具有最接近于且低于所述目前為止找到的具有最高評分的數據點的聚焦高度的數據點、以及具有最接近于且高于所述目前為止找到的具有最高評分的數據點的聚焦高度的數據點，來計算所述擬合函數。

5.根據權利要求4所述的方法，其中，利用每一步將所述聚焦高度調整到盡可能接近于所述擬合函數的峰同時距目前為止檢查過的所有聚焦高度至少保持一個特定距離的高度。

6.根據權利要求4所述的方法，其中，當擬合中所使用的三個點全部處于相對于彼此的特定距離之內時，達到所述理想聚焦高度。