[發明專利]激光微流體微推進裝置及方法

有效

• 申請號: 201110117961.7
• 申請日: 2011-05-09
• 公開（公告）號: CN102777341A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 蔡建;張興華
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: F03H1/00
• 分類號: F03H1/00
• 代理公司: 北京市德權律師事務所 11302
• 代理人: 王建國

1.一種激光微流體微推進裝置，其特征在于，包括：

脈沖激光燒蝕裝置、噴口塊及推進劑供給裝置及等離子體加速裝置；所述噴口塊一側設置有透明基底，內部設有一微噴管道；所述推進劑供給裝置提供的推進劑通過一微管與所述微噴管道連接；所述脈沖激光燒蝕裝置通過所述透明基底燒蝕所述微噴管道中的由所述推進劑供給裝置提供的推進劑。

2.根據權利要求1所述的激光微流體微推進裝置，其特征在于，所述推進劑供給裝置包括：

儲液箱及微管；所述儲液箱包括帶活塞的彈簧及液體工質；所述彈簧將所述液體工質通過所述微管推送到所述微噴管道中。

3.根據權利要求1或2所述的激光微流體微推進裝置，其特征在于：

所述微管設置有用于控制所述微管關閉的微管閥門。

4.根據權利要求1所述的激光微流體微推進裝置，其特征在于，所述脈沖激光燒蝕裝置包括：

脈沖光纖激光器和聚焦鏡，所述脈沖光纖激光器產生的激光依次通過所述聚焦鏡及所述透明基底照射到微噴管道中的所述推進劑上。

5.根據權利要求1、2或4任一項所述的激光微流體微推進裝置，其特征在于：

所述噴口塊還設置有噴頭閥門，用于控制所述微噴管道的關閉。

6.根據權利要求1所述的激光微流體微推進裝置，其特征在于：

所述微噴管道的寬度為20-300um。

7.根據權利要求6所述的激光微流體微推進裝置，其特征在于：

所述微噴管道的內徑為50-200um。

8.一種基于權利要求1所述裝置的激光微流體微推進方法，其特征在于，包括：

通過所述推進劑供給裝置向所述噴口塊內部的微噴管道推送推進劑；

通過脈沖激光燒蝕裝置照射所述透明基底，燒蝕所述微噴管道中的由所述推進劑供給裝置提供的推進劑。

9.根據權利要求8所述的方法，其特征在于，還包括：

通過一微管閥門控制所述推進劑是否推送到所述微噴管道。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，還包括：

通過關閉所述微管閥門，打開所述噴口塊處的噴口閥門6，通過所述脈沖激光燒蝕裝置照射所述噴口管道，將處于噴口處的結塊燒蝕并從管道右側噴出，從而打通管道。