[發(fā)明專利]可用于化學增幅型正性光刻膠的敏化劑及其在制備化學增幅型正性光刻膠中的應(yīng)用

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110115132.5
• 申請日: 2011-05-05
• 公開（公告）號: CN102768467A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳飛鵬;袁浩;趙榆霞
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院理化技術(shù)研究所
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司 11257
• 代理人: 張文祎

1.可用于化學增幅型正性光刻膠的敏化劑，其特征在于：包括以三苯胺為電子給體的直鏈或多支型的芐叉環(huán)烷烴酮類雙光子染料或以三苯胺為電子給體的直鏈或多支型的芐叉烷烴酮類雙光子染料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的敏化劑，其特征在于，所述以三苯胺為電子給體的直鏈或多支型的芐叉環(huán)烷烴酮類雙光子染料是具有分子結(jié)構(gòu)的化合物：

在上述分子通式M1～M3中：

A1、A2、A3、A4是鹵原子、氫原子、烷基、烷氧基或硝基；

A1、A2、A3、A4可以為相同或不同的取代基團；

是環(huán)丁酮、環(huán)戊酮、環(huán)己酮、環(huán)庚酮或環(huán)辛酮。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的敏化劑，其特征在于，所述以三苯胺為電子給體的直鏈或多支型的芐叉烷烴酮類雙光子染料是具有分子結(jié)構(gòu)的化合物：

在上述分子通式M4～M6中：

A1、A2、A3、A4是鹵原子、氫原子、烷基、烷氧基或硝基；

A1、A2、A3、A4可以為相同或不同的取代基團；

A5、A6是氫原子或烷基；A5、A6可以為相同或不同的取代基團；

是環(huán)丁酮、環(huán)戊酮、環(huán)己酮、環(huán)庚酮或環(huán)辛酮。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的敏化劑，其特征在于，所述的鹵原子是指氟原子、氯原子、溴原子或碘原子。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的敏化劑，其特征在于，所述的烷基是碳原子數(shù)小于15的烷基中的一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的敏化劑，其特征在于，所述的碳原子數(shù)小于15的烷基是甲基、乙基、丙基、異丙基、正丁基、異丁基或叔丁基。

7.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的敏化劑，其特征在于，所述的烷氧基是碳原子數(shù)小于15的烷氧基中的一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的敏化劑，其特征在于，所述的碳原子數(shù)小于15的烷氧基是甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、異丁氧基或叔丁氧基。

9.一種如權(quán)利要求1～8中任意所述的敏化劑在制備化學增幅型正性光刻膠中應(yīng)用，包括如下步驟：

在避光條件下，將0.0001～2份的敏化劑和0.005～10份的光生酸劑溶于20～90份的有機溶劑中，待溶解完全后，向其中繼續(xù)加入5～80份的酸降解型樹脂和0～60份溶解抑制劑，攪拌均勻，即得到雙光子化學增幅型正性光刻膠。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的敏化劑在制備化學增幅型正性光刻膠中應(yīng)用，其特征在于：所述的酸降解型樹脂是任何在酸催化下降解生成堿溶性基團的光刻樹脂。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的敏化劑在制備化學增幅型正性光刻膠中應(yīng)用，其特征在于：所述在酸催化下降解生成堿溶性基團的光刻樹脂包括甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸叔丁酯的共聚物、部分t-BOC保護的聚4-羥基苯乙烯或甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸二氫吡喃酯共聚物。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的敏化劑在制備化學增幅型正性光刻膠中應(yīng)用，其特征在于：所述溶解抑制劑是在酸催化下降解產(chǎn)生堿溶性基團的小分子苯、聯(lián)苯或稠環(huán)衍生物。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的敏化劑在制備化學增幅型正性光刻膠中應(yīng)用，其特征在于：所述在酸催化下降解產(chǎn)生堿溶性基團的小分子苯、聯(lián)苯或稠環(huán)衍生物包括t-BOC保護的苯酚、t-BOC保護的對二苯酚、t-BOC保護的1，3，5-三苯酚、t-BOC保護的1，2，3-鄰三苯酚、t-BOC保護的2，6-二硝基苯酚、t-BOC保護的2，6-二羥基硝基苯或t-BOC保護的雙酚A多羥基取代苯。

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的敏化劑在制備化學增幅型正性光刻膠中應(yīng)用，其特征在于：所述光生酸劑是N-羥基鄰苯二甲酰亞胺酯、N-羥基萘二甲酰亞胺酯、三嗪、硫鎓鹽、碘鎓鹽中的一種或兩種以上任意比例的混合物。