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[發(fā)明專利]碎硅片漂洗設備無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201110112927.0 申請日: 2011-05-03
公開(公告)號: CN102764742A 公開(公告)日: 2012-11-07
發(fā)明(設計)人: 唐威 申請(專利權)人: 鎮(zhèn)江仁德新能源科技有限公司
主分類號: B08B3/10 分類號: B08B3/10;H01L21/00;H01L31/18
代理公司: 北京金信立方知識產(chǎn)權代理有限公司 11225 代理人: 黃威;郭迎俠
地址: 212200 江蘇省鎮(zhèn)*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 硅片 漂洗 設備
【說明書】:

技術領域

發(fā)明涉及一種漂洗設備,尤其涉及一種太陽能級半導體多單晶硅片加工領域中的碎硅片漂洗設備。

背景技術

在太陽能級半導體多單晶硅片加工中,會產(chǎn)生一定量的碎硅片,這部分碎硅片含漿料等雜質(zhì),將含有漿料等雜質(zhì)的碎硅片經(jīng)清洗后可以投爐再次利用。現(xiàn)用于碎硅片漂洗的設備包括漂洗槽,所述漂洗槽連接向其內(nèi)不斷提供純水的管路,所述漂洗槽的上端設置溢流口,以使漂洗后的臟水不斷的從漂洗槽內(nèi)溢出。另外,所述漂洗設備利用壓縮空氣向漂洗槽內(nèi)充氣進行鼓泡使得碎硅片在漂洗槽內(nèi)翻滾,以達到漂洗的效果。

這種漂洗設備存在如下的缺點:1、使用的壓縮空氣中會含有雜質(zhì),在連續(xù)鼓泡的時候容易向漂洗槽內(nèi)帶入雜質(zhì),而且空壓機容易漏油,從而導致清洗完后的碎硅片受到污染;2、在停止鼓泡后,與空壓機連接的鼓泡口容易被細小的碎硅片料堵住,不能正常的鼓泡,從而降低了漂洗的效果(現(xiàn)車間的鼓泡口基本都被堵住了);3、由于鼓泡口被細小的碎硅片堵住,導致漂洗的時間延長,相應也會延長向漂洗槽不斷供水的時間,造成純水的使用量大大增加;4、由于漂洗過程中濕的碎硅片容易粘在一起,漂洗完后在裝袋甩干時比較的麻煩,需要員工使用工裝,一下一下的將碎硅片裝到甩干袋中,非常的繁瑣。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種漂洗時間短、漂洗用水量較少、漂洗效果好的碎硅片漂洗設備。

為了解決上述技術問題,本發(fā)明采用了如下技術方案:一種碎硅片漂洗設備,包括漂洗槽和與所述漂洗槽連接的用于向漂洗槽內(nèi)供應純水的管路,所述漂洗槽的上端設置溢流口,其中所述管路上連接增加管路內(nèi)純水的壓力的水泵。

作為優(yōu)選,所述管路連接到所述漂洗槽的下部。

作為優(yōu)選,所述漂洗槽的下端為錐形收口,在錐形收口處開設出料口。

作為優(yōu)選,所述出料口為圓形,所述出料口的直徑為12cm-16cm。

與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明的碎硅片漂洗設備的有益效果在于:

1、本發(fā)明的碎硅片漂洗設備采用在管路上設置水泵的方式,以增加向漂洗槽內(nèi)供入的純水的壓力,使碎硅片在漂洗槽內(nèi)翻滾實現(xiàn)漂洗的效果。而取消了現(xiàn)有技術中通過氣體管路與漂洗槽連接的空壓機,因此不會隨空氣向漂洗槽內(nèi)帶入雜質(zhì),也不會發(fā)生鼓泡口堵住使碎硅片翻轉(zhuǎn)效果不好,需要長時間供水漂洗的問題。

2、錐形收口處設置的出料口只需將甩干袋套在出料口上,打開閥門漂洗后的碎硅片會隨漂洗水一起下落進入甩干袋,方便省事,減輕了現(xiàn)有技術中需人工一點一點的裝片的勞動強度。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的實施例的碎硅片漂洗設備的主視圖。

圖2為本發(fā)明的實施例的碎硅片漂洗設備的側(cè)視圖。

標記說明

1-漂洗槽????????2-管路

3-水泵??????????4-溢流口

5-出料口????????6-控制閥門

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步詳細描述,但不作為對本發(fā)明的限定。

圖1為本發(fā)明的碎硅片漂洗設備的主視圖。圖2為本發(fā)明的碎硅片漂洗設備的側(cè)視圖。如圖1和圖2所示,本發(fā)明的實施例的碎硅片漂洗設備,包括漂洗槽1、管路2和設置在管路2上的水泵3,管路2的一端伸入到漂洗槽1內(nèi)以便在清洗過程中向漂洗槽1內(nèi)不斷供應純水。漂洗槽1的上端設置溢流口4,以便漂洗槽1內(nèi)的臟水從溢流口4處流出。管路2上設置的水泵3增加注入漂洗槽1內(nèi)純水的壓力,漂洗槽1內(nèi)的碎硅片經(jīng)由從水泵3內(nèi)輸出的純水的沖擊不斷的翻滾,從而實現(xiàn)清洗的目的。本發(fā)明的實施例利用水泵3增加管路2內(nèi)輸入的純水的壓力以實現(xiàn)漂洗槽1內(nèi)的碎硅片翻滾,取代現(xiàn)有技術中利用空壓機向漂洗槽1內(nèi)不斷鼓泡的方式實現(xiàn)碎硅片的翻滾。因此不會存在由于鼓入空氣而帶入漂洗槽1內(nèi)雜質(zhì)的問題。也不會存在鼓泡口在停止鼓起后被細小的碎硅片堵住的問題。

作為本實施例的一種優(yōu)選方案,為了使經(jīng)水泵加壓后的純水輸入到漂洗槽1后將漂洗槽1內(nèi)的碎硅片有效的翻滾,以達到良好的漂洗效果,管路2連接到漂洗槽1的下部,使輸入的純水不斷的向漂洗槽1的上方鼓動而有效攪動碎硅片。

當然,為了使碎硅片不斷的翻滾,可以根據(jù)實際需要選用不同功率的水泵3。

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