[發明專利]電子器件及其制造方法

有效

• 申請號: 201110112694.4
• 申請日: 2007-12-13
• 公開（公告）號: CN102280579A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 阿瑟·瑪西婭;喬爾格·費希爾;馬庫斯·謝迪格
• 申請（專利權）人: 三星移動顯示器株式會社
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L27/32;H01L51/10;H01L51/52;H01L51/40;H01L51/56;H01L21/77;B41M5/00
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

1.一種電子器件，包含：

襯底；和

有機絕緣層，其包括施加到襯底上的有機絕緣材料，

其中有機絕緣層包含具有第一凹槽的第一區域和具有突起壁的第二區域，其中該突起壁是第一凹槽壁的延長線。

2.權利要求1的電子器件，其中第二區域包含多個突起和由相鄰突起形成的第二凹槽，并且第二凹槽中有機絕緣層的厚度大于第一凹槽中有機絕緣層的厚度。

3.權利要求1的電子器件，進一步包括在襯底上的第一導電層。

4.權利要求1的電子器件，進一步包括在第一凹槽中形成的第二導電層。

5.權利要求1的電子器件，進一步包含由突起包封的第二導電層。

6.權利要求2的電子器件，進一步包含在第二凹槽中形成的第二導電層。

7.權利要求3的電子器件，其中第一導電層選自電容器電極、像素電極、面電極、柵電極和導電線。

8.權利要求4的電子器件，其中第二導電層選自電容器電極、像素電極、面電極、柵電極和導電線。

9.權利要求5的電子器件，其中第二導電層選自電容器電極、像素電極、面電極、柵電極和導電線。

10.權利要求6的電子器件，其中第二導電層選自電容器電極、像素電極、面電極、柵電極和導電線。

11.一種制造有機電致發光顯示器的方法，該方法包括：

提供襯底；

將源極、溝道區域、漏極和像素電極施加到襯底上；

施加包括有機絕緣材料的有機絕緣層，以覆蓋源極、溝道區域、漏極和像素電極；和

通過將有機溶劑施加至相應于像素電極上表面的有機絕緣層的第一區域，除去第一區域的有機絕緣材料。

12.權利要求11的方法，其中通過將有機溶劑施加至第一區域，除去第一區域的有機絕緣材料，以暴露像素電極。

13.權利要求11的方法，進一步包括等離子體蝕刻，以暴露像素電極。

14.權利要求11的方法，進一步包括在相應于溝道區域上表面的有機絕緣層的第二區域上形成柵電極。

15.權利要求14的方法，其中將有機溶劑施加到第一區域上，以溶解有機絕緣材料，和在有機絕緣層上已形成柵電極后，溶解的有機絕緣材料覆蓋柵電極。

16.權利要求14的方法，其中將有機溶劑施加到第一區域上，以溶解有機絕緣材料，和溶解的有機絕緣材料積聚在鄰接第一區域的第二區域上，從而，在積聚的有機絕緣材料上形成柵電極。

17.一種有機電致發光顯示器，包含：

襯底；

在襯底上形成的源極、溝道區域、漏極和像素區域；和

包括有機絕緣材料并在襯底上形成以覆蓋溝道區域的有機絕緣層，

其中有機絕緣層的第一區域包括暴露像素電極的第一凹槽，有機絕緣層的第二區域包括突起壁，其是第一凹槽壁的延長線。

18.權利要求17的有機電致發光顯示器，其中第二區域的突起位于溝道區域上，并且第二區域進一步包含由突起包封的柵電極。

19.權利要求17的有機電致發光顯示器，其中第二區域包括多個突起和由相鄰突起形成的第二凹槽，第二凹槽中有機絕緣層的厚度大于第一凹槽中有機絕緣層的厚度。

20.權利要求19的有機電致發光顯示器，其中第二區域的第二凹槽位于的溝道區域上表面上，且進一步包括在第二凹槽上形成的柵電極。

21.制造有機薄膜晶體管陣列的方法，該方法包括：提供襯底；施加包括源極、半導體材料的溝道區域和漏極的多個功能層；用有機絕緣材料的有機絕緣層覆蓋功能層；對于每個薄膜晶體管，在位于每個薄膜晶體管的溝道區域上方的區域中，將柵電極層施加在有機絕緣層上；并在鄰近柵電極的第一區域中施加有機溶劑，從而積聚材料，其用來自第一區域的溶解的有機絕緣材料包封柵電極，其中施加有機溶劑的第一區域形成第一凹槽。

22.制造至少一個電容器的方法，該方法包括：提供襯底；在襯底上施加第一電容器電極；在第一電容器電極上施加有機絕緣層；將有機溶劑施加到第一電容器電極位于其中的第一區域的部分上或整個第一區域上，從而減小有機絕緣材料的厚度；和在減小有機絕緣材料的厚度后，在第一區域的至少部分上的有機絕緣層上形成第二電容器電極。