[發(fā)明專利]清洗藥液的前饋溫度控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110108494.1
• 申請日: 2011-04-28
• 公開（公告）號: CN102147626A
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發(fā)明（設計）人: 李春彥;李曼;韓雷剛;裴立坤;昝威
• 申請（專利權）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

1.一種清洗藥液的前饋-串級溫度控制方法，其特征在于，所述溫度控制方法涉及包括藥液存儲槽、加熱器以及過濾器的化學藥液傳遞系統(tǒng)，所述化學藥液傳遞系統(tǒng)通過工藝清洗供液出口對清洗目標設備進行清洗藥液的供給，所述溫度控制方法包括如下步驟：

S1：在所述藥液存儲槽底部位置設置第一溫度傳感器，并對應設置有前饋控制器；在所述加熱器的出口處設置第二溫度傳感器，并對應設置有串級內(nèi)環(huán)PID控制器；在所述工藝清洗供液出口處設置第三溫度傳感器，并對應設置有串級外環(huán)PID控制器；

S2：預先設定藥液存儲槽內(nèi)的存儲槽目標溫度值以及工藝清洗供液出口處的供液目標溫度值；

S3：控制加熱器對藥液存儲槽內(nèi)的藥液進行加熱，并使所述第一溫度傳感器所檢測到的存儲槽內(nèi)藥液溫度達到所述存儲槽目標溫度值；

S4：當藥液存儲槽內(nèi)的藥液達到存儲槽目標溫度值并穩(wěn)定后，開啟工藝清洗供液出口進行清洗藥液供給，同時通過所述串級內(nèi)環(huán)PID控制器、串級外環(huán)PID控制器以及前饋控制器對加熱器的加熱功率進行控制使所述第三溫度傳感器所檢測到的供液溫度穩(wěn)定保持為所述預設的供液目標溫度值。

2.如權利要求1所述的清洗藥液的前饋-串級溫度控制方法，其特征在于，所述步驟S3具體包括如下步驟：

S301：計算所述預設的存儲槽目標溫度值與所述第一溫度傳感器所檢測到的存儲槽內(nèi)當前藥液溫度之間的存儲槽藥液溫度偏差值；

S302：將所述存儲槽藥液溫度偏差值輸入所述前饋控制器，計算得出第一加熱控制信號并輸出給加熱器；

S303：加熱器根據(jù)所述第一加熱控制信號調(diào)整其加熱功率；

S304：重復步驟S301-步驟S303，直至所述第一溫度傳感器所檢測到的存儲槽內(nèi)當前藥液溫度達到所述存儲槽目標溫度值。

3.如權利要求2所述的清洗藥液的前饋-串級溫度控制方法，其特征在于，所述步驟S301中，根據(jù)下述公式A計算得到存儲槽藥液溫度偏差值；

其中，公式A：

E_tan?k＝E_tan?k，set-T_tan?k，

其中，E_tan?k為存儲槽藥液溫度偏差值，T_tan?k，set為預設的存儲槽目標溫度值，T_tan?k為第一溫度傳感器所檢測到的存儲槽內(nèi)當前藥液溫度。

4.如權利要求2所述的清洗藥液的前饋-串級溫度控制方法，其特征在于，所述步驟S302中，所述前饋控制器根據(jù)下述公式B計算得到第一輸出值，并將第一輸出值轉換為4-20mA模擬電流的第一加熱控制信號，然后再輸出第一加熱控制信號給加熱器內(nèi)的可控硅整流器SCR進行加熱功率調(diào)整；

其中，公式B：

U1=KpEtank+1Ti∫Etankdt+KddEtankdt,]]>

其中，U₁為第一輸出值，K_p為比例系數(shù)，T_i為積分時間常數(shù)，K_d為微分時間常數(shù)，E_tan?k為存儲槽藥液溫度偏差值，t為時間系數(shù)。