[發(fā)明專利]鍍膜件及其制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110106724.0 | 申請日: | 2011-04-27 |
| 公開(公告)號: | CN102758184A | 公開(公告)日: | 2012-10-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張新倍;陳文榮;蔣煥梧;陳正士;黃嘉 | 申請(專利權(quán))人: | 鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/34 | 分類號: | C23C14/34;C23C14/06;B32B9/04;B32B15/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518109 廣東省深圳市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 鍍膜 及其 制備 方法 | ||
1.一種鍍膜件,其包括基材及形成于基材表面的鍍層,其特征在于:該鍍層為M摻雜的二氧化鈦層,其中M為鎳、鐵及鉻中的一種。
2.如權(quán)利要求1所述的鍍膜件,其特征在于:該基材的材質(zhì)為玻璃或不銹鋼。
3.如權(quán)利要求1所述的鍍膜件,其特征在于:該鍍層中摻雜的M與鈦的原子比為2%~8%。
4.如權(quán)利要求1所述的鍍膜件,其特征在于:該鍍層為光致變色層。
5.如權(quán)利要求1所述的鍍膜件,其特征在于:該鍍層采用濺射法形成,其厚度為200~500nm。
6.一種鍍膜件的制備方法,其包括如下步:
提供基材;
采用粉末冶金法制備一合金靶,該合金靶中含有金屬M(fèi)和金屬鈦,其中金屬M(fèi)為鎳、鐵及鉻中的一種;
采用濺射法,并使用上述步驟制備的合金靶,在該基材的表面形成一鍍層,該鍍層為M摻雜的二氧化鈦層。
7.如權(quán)利要求6所述的鍍膜件的制備方法,其特征在于:該基材的材質(zhì)為玻璃或不銹鋼。
8.如權(quán)利要求6所述的鍍膜件的制備方法,其特征在于:所述制備合金靶的步驟的工藝參數(shù)為:以金屬M(fèi)粉體及金屬鈦粉體為原料,將金屬M(fèi)粉體與金屬鈦粉體按原子比為5~10%的比例混合均勻獲得一混合物;采用熱壓成型法將混合物制成一坯體,成型溫度為100~300℃,壓力為30~60MPa;燒結(jié)該坯體,燒結(jié)溫度為1300~1800℃,燒結(jié)時(shí)間為30~60min。
9.如權(quán)利要求8所述的鍍膜件的制備方法,其特征在于:金屬M(fèi)粉體的純度為99.99%,粒度為25~50μm,金屬鈦粉體的純度為99.99%,粒度為25~50μm。
10.如權(quán)利要求6所述的鍍膜件的制備方法,其特征在于:濺射形成所述鍍層的步驟的工藝參數(shù)為:基材的溫度為100~200℃,以氬氣為工作氣體,氬氣的流量為300~500sccm,以氧氣為反應(yīng)氣體,氧氣的流量為50~200sccm,合金靶的功率為3~5kw,施加于基材的偏壓為-100~-200V,鍍膜時(shí)間為30~90min。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





