[發明專利]用于子孔徑拼接的參考平晶前置干涉儀

無效

• 申請號: 201110106490.X
• 申請日: 2011-04-27
• 公開（公告）號: CN102278940A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 王青;何勇;徐新華;李建欣;陳磊;張國偉
• 申請（專利權）人: 南京理工大學
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B11/24;G01B11/16;G02B7/182
• 代理公司: 南京理工大學專利中心 32203
• 代理人: 馬魯晉

1.一種用于子孔徑拼接的參考平晶前置干涉儀，其特征在于，包括干涉儀本體[1]、第一水平導軌[4]、第二水平導軌[3]、第一垂直導軌[5]、第二垂直導軌[14]、第一配重塊滑軌[6]、第二配重塊滑軌[15]、水平移動部件[16]、第一反射鏡[8]、第二反射鏡[11]、第三反射鏡[20]、干涉儀框架[9]、水平精密定位裝置[10]、垂直移動部件[12]、配重塊[13]、垂直精密定位裝置[24]、參考平晶[26]；

干涉儀本體[1]固定于干涉儀框架[9]頂部，第一反射鏡[8]位于干涉儀本體[1]的出光口，干涉儀框架[9]內部設置第一垂直導軌[5]、第二垂直導軌[14]，垂直移動部件[12]通過滑塊在第一垂直導軌[5]、第二垂直導軌[14]上移動，上述垂直移動部件[12]在垂直精密定位裝置[24]的帶動下移動，該垂直精密定位裝置[24]固定在干涉儀框架[9]上，干涉儀框架[9]背部設有配重塊[13]，其重量與垂直移動部件[12]相當，該配重塊[13]通過干涉儀框架[9]頂部的定滑輪與垂直移動部件[12]相連接，第一配重塊導軌[6]和第二配重塊導軌[15]分別位于第一垂直導軌[5]和第二垂直導軌[14]兩側，配重塊[13]可在配重塊導軌上滑動；

垂直移動部件[12]內部設置第二反射鏡[11]、水平移動部件[16]、第一水平導軌[4]和第二水平導軌[3]，水平移動部件[16]通過滑塊在兩個水平導軌上移動，所述水平移動部件[16]在水平精密定位裝置[10]的帶動下移動，該水平精密定位裝置[10]固定在垂直移動部件[12]上；水平移動部件[16]內部設置第三反射鏡[20]和參考平晶[26]，參考平晶[26]由二維架定板[18]和二維架動板[19]固定在水平移動部件上，二維架動板[19]在二維精密調整架[17]的帶動下對參考平晶[26]進行調整；

干涉儀本體[1]的出射光通過第一反射鏡[8]傳入垂直移動部件[12]中的第二反射鏡[11]，通過第二反射鏡再次反射，進入水平移動部件[16]，經水平移動部件[16]中第三反射鏡[20]引導透過參考平晶[26]射向被測表面，由參考平晶[26]與被測表面構成菲索干涉腔，進行測量。

2.根據權利要求1所述的用于子孔徑拼接的參考平晶前置干涉儀，其特征在于，還包括垂直鎖緊部件[23]和水平鎖緊部件[25]，所述垂直鎖緊部件[23]位于垂直移動部件[12]底部，將垂直移動部件[12]鎖緊在第一垂直導軌[5]上，水平鎖緊部件[25]位于水平移動部件[16]上，將水平移動部件[16]鎖緊在垂直移動部件[12]內。

3.根據權利要求1或2所述的用于子孔徑拼接的參考平晶前置干涉儀，其特征在于，干涉儀框架[9]的底部四角分別設置減震底腳[7]。

4.根據權利要求1或2所述的用于子孔徑拼接的參考平晶前置干涉儀，其特征在于，干涉儀框架[9]的頂部四角分別設置吊環螺釘[2]。