[發(fā)明專利]擴(kuò)散爐軟著陸推拉舟的角度調(diào)整機(jī)構(gòu)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110103237.9
• 申請(qǐng)日: 2011-04-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102760675A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-10-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李丙科;崔慧敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島賽瑞達(dá)電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/22
• 代理公司: 山東清泰律師事務(wù)所 37222
• 代理人: 寧燕

1.一種擴(kuò)散爐軟著陸推拉舟的角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于它包括電機(jī)、聯(lián)軸器、渦輪蝸桿減速機(jī)、傳動(dòng)軸、支撐架、底板、凸輪、碳化硅槳，其中電機(jī)、渦輪蝸桿減速機(jī)和支撐架均固定在底板上；電機(jī)的軸通過(guò)聯(lián)軸器與渦輪蝸桿減速機(jī)相連，傳動(dòng)軸安裝在兩個(gè)支撐架上并可自由傳動(dòng)，渦輪蝸桿減速機(jī)與傳動(dòng)軸相連；凸輪固定在傳動(dòng)軸上，碳化硅槳設(shè)置在凸輪頂部，碳化硅槳一端連接在支撐架上并可繞其自由轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散爐軟著陸推拉舟的角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)。