[發明專利]具有可插拔結構的透鏡光纖、透鏡光纖陣列及其制備方法

無效

• 申請號: 201110101140.4
• 申請日: 2011-04-21
• 公開（公告）號: CN102162879A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 楊成樾;周靜濤;劉煥明;申華軍
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G02B6/32
• 分類號: G02B6/32
• 代理公司: 北京市德權律師事務所 11302
• 代理人: 王建國

1.一種具有可插拔結構的透鏡光纖，其特征在于，包括：

微透鏡、平頭光纖；所述微透鏡與所述平頭光纖通過所述微透鏡上的定位通孔活動連接。

2.根據權利要求2所述的透鏡光纖，其特征在于，所述微透鏡包括：

玻璃襯底；所述玻璃襯底一面涂覆有光刻膠，所述光刻膠定義出分離的不同大小的圖形區域，其中，各圖形區域幾何中心與玻璃襯底背面所述定位通孔的圓心重合；所述玻璃襯底另一面粘結有帶有定位通孔的硅襯底；所述定位通孔的外徑與光纖的外徑相同。

3.一種制作具有可插拔結構的透鏡光纖的方法，其特征在于，包括：

制備帶有定位通孔的微透鏡；

根據所述帶有定位通孔的微透鏡制備所述透鏡光纖。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述制備帶有定位通孔的微透鏡包括：

制備帶有定位通孔的玻璃襯底；

在所述玻璃襯底上涂覆光刻膠，通過光刻工藝將所述光刻膠定義出分離的不同大小的圖形區域；所述圖形區域幾何中心與所述定位通孔的圓心重合；

將光刻膠加熱至熔融狀態，形成熱回流膠體凸透鏡；

通過選擇性刻蝕將所述熱回流膠體凸透鏡轉移到玻璃襯底上形成微透鏡。

5.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述根據所述帶有定位通孔的微透鏡制備所述透鏡光纖包括：

將所述微透鏡的玻璃襯底進行劃片分割；

將所述微透鏡套裝在所述平頭光纖端部。

6.一種具有可插拔結構的透鏡光纖陣列，其特征在于，包括：

多個光纖構成的光纖排和陣列微透鏡；所述光纖排通過所述陣列微透鏡上的定位通孔與所述陣列微透鏡活動連接。

7.根據權利要求6所述的透鏡光纖陣列，其特征在于，所述微透鏡包括：

玻璃襯底；所述玻璃襯底一面涂覆有光刻膠，所述光刻膠定義出分離的不同大小的圖形區域，其中，各圖形區域幾何中心與玻璃襯底背面所述定位通孔的圓心重合；所述玻璃襯底另一面粘結有帶有定位通孔的硅襯底；所述定位通孔的外徑與光纖的外徑相同。

8.根據權利要求7所述的透鏡光纖陣列，其特征在于：

所述硅襯底上有刻蝕區，所述刻蝕區的間距是按陣列要求定義，所述硅襯底上有通過干法刻蝕形成與光纖外徑相同的所述定位通孔。

9.一種制作具有可插拔結構的透鏡光纖陣列的方法，其特征在于，包括：

制備帶有構成陣列的定位通孔的微透鏡；?

根據所述帶有定位通孔的微透鏡制備所述透鏡光纖陣列。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述制備帶有構成陣列的定位通孔的微透鏡包括：

在硅襯底上光刻出刻蝕區，刻蝕區間距按陣列要求定義；

硅襯底上通過干法刻蝕形成與光纖外徑相同的定位通孔；

將硅襯底與玻璃襯底通過直接鍵合工藝粘結在一起，形成帶有定位通孔的玻璃襯底；

在帶有定位通孔的玻璃襯底上涂覆光刻膠，通過光刻工藝將光刻膠定義出分離的圖形區域，各圖形區域幾何中心與背面通孔的圓心重合；

將光刻膠加熱至膠體呈熔融狀態，形成熱回流膠體凸透鏡；

通過選擇性刻蝕將膠體透鏡轉移到玻璃襯底上形成微透鏡。

11.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述制備帶有構成陣列的定位通孔的微透鏡包括：

將微透鏡的玻璃襯底劃片分割成微透鏡陣列；

將所述微透鏡陣列套裝在所述平頭光纖陣列上。