[發明專利]定子內嵌式電磁懸浮轉子微馬達

無效

• 申請號: 201110099216.4
• 申請日: 2011-04-20
• 公開（公告）號: CN102148593A
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發明（設計）人: 吳校生;陳文元;張衛平
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: H02N15/00
• 分類號: H02N15/00;H02K15/02;H02K15/10
• 代理公司: 上海交達專利事務所 31201
• 代理人: 王錫麟;王桂忠

1.一種定子內嵌式電磁懸浮轉子微馬達，包括：轉子以及轉動設置于轉子內的定子，其特征在于：

所述的轉子包括：轉子圓板和聯結柱，其中：若干聯結柱的兩端分別與兩塊轉子圓板垂直固定連接；

所述的定子包括：支撐柱、基體、基板以及具體有相同結構的上定子和下定子，其中：支撐柱位于轉子的圓心且兩端分別與下定子和基板固定連接，上定子和下定子分別固定聯結于基體的上表面和下表面。

2.根據權利要求1所述的定子內嵌式電磁懸浮轉子微馬達，其特征是，所述的轉子圓板由相同結構的轉子上圓板和轉子下圓板組成，其中：轉子上圓板和轉子下圓板與聯結柱兩端固定連接并構成盒形微轉子，該盒形微轉子在上定子和下定子的電磁力作用下穩定懸浮在定子的外緣。

3.根據權利要求1所述的定子內嵌式電磁懸浮轉子微馬達，其特征是，所述的上定子及下定子表面均設有雙層穩定懸浮線圈、旋轉線圈、信號引腳以及信號線，其中：雙層穩定懸浮線圈、旋轉線圈、信號引腳之間用絕緣介質填充，信號線的兩端分別與雙層穩定懸浮線圈及高頻電流源相連。

4.根據權利要求1所述的定子內嵌式電磁懸浮轉子微馬達，其特征是，所述的上定子和下定子由下而上依次由線圈層、焊點層、層間連線層、互連層、層間介質層構成，其中：線圈層、焊點層、層間連線層以及互連層均為銅制成，層間介質層采用氧化硅，氧化鋁，高分子聚合物制成，互連層分別與線圈層以及雙層穩定懸浮線圈以及雙層穩定懸浮線圈與焊點層相連，層間連線層完成層之間的電互連，層間介質層實現層之間的電絕緣。

5.一種制備如權利要求1至4中任一所述定子的半導體加工工藝，其特征在于，包括以下步驟：

步驟a)：加工用的基片經過清洗；

步驟b)：在基片上濺射Cr/Cu種子層；

步驟c)：光刻工藝，采用光刻膠對基片上的Cr/Cu種子層進行圖形化；

步驟d)：電鍍銅互連；

步驟e)：去光刻膠；

步驟f)：電鍍層間互連，然后去掉暴露出來的Cr/Cu種子層；

步驟g)：濺射介電材料絕緣層，然后磨平；

步驟h)：采用與步驟b)-步驟e)相同的工藝過程完成線圈層的制作；

步驟i)：濺射介電材料絕緣層，然后將絕緣層磨平，完成上定子的制作；

步驟j)：采用雙面光刻工藝制作下定子。