[發(fā)明專利]快速響應的微電子機械系統(tǒng)相對濕度傳感器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110098551.2 | 申請日： | 2011-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN102243199A | 公開（公告）日： | 2011-11-16 |
| 發(fā)明（設計）人： | 趙成龍;黃慶安;秦明 | 申請（專利權(quán)）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | G01N27/22 | 分類號： | G01N27/22;B81B3/00 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 快速 響應 微電子 機械 系統(tǒng) 相對濕度 傳感器 | ||
1.一種快速響應的微電子機械系統(tǒng)相對濕度傳感器，其特征在于：該相對濕度傳感器包括設有空腔（8）的襯底（1）、設置在襯底（1）上的氧化層（2）、設置在氧化層（2）上的加熱條（3）、設置在加熱條（3）上的絕緣層（4）、第一電容電極（5）、第二電容電極（6）和濕度敏感介質(zhì)（7），第一電容電極（5）、第二電容電極（6）分別設置在絕緣層（4）上，濕度敏感介質(zhì)（7）設置在第一電容電極（5）和第二電容電極（6）之間，濕度敏感介質(zhì)（7）還設置在第一電容電極（5）和第二電容電極（6）上方，加熱條（3）包括相對設置加熱第一公共端（33）和加熱第二公共端（34），加熱條（3）為條狀且等間距相鄰排列，第一電容電極（5）包括若干平行的第一電極（53）、將第一電極（53）連接在一起的第一公共端（51）、每個第一電極（53）設有與第一公共端（51）相對的第一自由端（52），第一電極（53）連接第一公共端（51）與第一自由端（52），第二電容電極（6）包括若干平行的第二電極（63）、將第二電極（63）連接在一起的第二公共端（61）、每個第二電極（63）設有與第二公共端（61）相對的第二自由端（62），第二電極（63）連接第二公共端（61）與第二自由端（62），第一自由端（52）與第二公共端（61）不接觸，第二自由端（62）與第一公共端（51）不接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速響應的微電子機械系統(tǒng)相對濕度傳感器，其特征在于：加熱條（3）的加熱第一公共端（33）和加熱第二公共端（34）均固定在氧化層（2）上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的快速響應的微電子機械系統(tǒng)相對濕度傳感器，其特征在于：相鄰的第一電極（53）之間設有第二電極（63），相鄰的第二電極（63）之間設有第一電極（53），第一電容電極（5）的第一公共端（51）和第一自由端（52）均設在絕緣層（4）上，第二電容電極（6）的第二公共端（61）和第二自由端（62）均設在絕緣層（4）上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的快速響應的微電子機械系統(tǒng)相對濕度傳感器，其特征在于：濕度敏感介質(zhì)（7）為聚酰亞胺。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的快速響應的微電子機械系統(tǒng)相對濕度傳感器，其特征在于：第一電容電極（5）、第二電容電極（6）分別為鋁電極。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的快速響應的微電子機械系統(tǒng)相對濕度傳感器，其特征在于：加熱條（3）為多晶硅加熱條。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的快速響應的微電子機械系統(tǒng)相對濕度傳感器，其特征在于：絕緣層（4）為二氧化硅絕緣層。
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