[發明專利]基于氧化石墨烯的電容式相對濕度傳感器

無效

• 申請號: 201110098038.3
• 申請日: 2011-04-19
• 公開（公告）號: CN102253091A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 趙成龍;黃慶安;秦明;畢恒昌;尹奎波
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22;B81B7/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種基于氧化石墨烯的電容式相對濕度傳感器，其特征在于：該濕度傳感器包括襯底（1）、自襯底（1）向上依次設置在襯底（1）上的氧化層（2）、加熱條（3）、絕緣層（4），該濕度傳感器還包括第一電容電極（5）、第二電容電極（6）、鈍化層（7）和濕度敏感介質（8），第一電容電極（5）、第二電容電極（6）分別設在絕緣層（4）上，在第一電容電極（5）和第二電容電極（6）上分別設有鈍化層（7），濕度敏感介質（8）設在第一電容電極（5）和第二電容電極（6）之間，濕度敏感介質（8）還設在第一電容電極（5）和第二電容電極（6）上方，鈍化層（7）位于第一電容電極（5）與濕度敏感介質（8）之間以及第二電容電極（6）與濕度敏感介質（8）之間。

2.根據權利要求1所述的基于氧化石墨烯的電容式相對濕度傳感器，其特征在于：加熱條（3）為條狀且等間距排列，加熱條（3）由第一加熱條引線（31）和第二加熱條引線（32）引出。

3.根據權利要求1所述的基于氧化石墨烯的電容式相對濕度傳感器，其特征在于：第一電容電極（5）、第二電容電極（6）為梳齒狀且交錯排列，即相鄰的兩第一電容電極（5）之間設有第二電容電極（6），相鄰的兩第二電容電極（6）之間設有第一電容電極（5），其中，第一電容電極（5）由第一電極引線（51）引出，第二電容電極（6）由第二電極引線（61）引出。

4.根據權利要求1、2或3所述的基于氧化石墨烯的電容式相對濕度傳感器，其特征在于：第一電容電極（5）、第二電容電極（6）分別為鋁電極。

5.根據權利要求1或2或3所述的基于氧化石墨烯的電容式相對濕度傳感器，其特征在于：鈍化層（7）為氮化硅層。

6.根據權利要求1或2或3所述的基于氧化石墨烯的電容式相對濕度傳感器，其特征在于：濕度敏感介質（8）為氧化石墨烯。

7.根據權利要求1或2或3所述的基于氧化石墨烯的電容式相對濕度傳感器，其特征在于：加熱條（3）為多晶硅加熱條。

8.根據權利要求1或2或3所述的基于氧化石墨烯的電容式相對濕度傳感器，其特征在于：絕緣層（4）為二氧化硅絕緣層。