[發明專利]一種高分辨率的生物傳感器

有效

• 申請號: 201110097791.0
• 申請日: 2011-04-19
• 公開（公告）號: CN102242062A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 徐明生;陳紅征;吳剛;施敏敏;汪茫
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: C12M1/34
• 分類號: C12M1/34;G01N27/447
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種高分辨率的生物傳感器，其特征在于包括在第三絕緣層3上兩端分別設有第一儲藏室12、第二儲藏室13，第一儲藏室12上設有第一電泳電極10，第二儲藏室13上設有第二電泳電極11，第一儲藏室12與第二儲藏室13之間設有微納米分離通道14，第一儲藏室12與二儲藏室13之間設有N個并列排列的場效應晶體管單元30，N個場效應晶體管單元30之間通過第三絕緣層3隔開，場效應晶體管單元30包括基板1、介電層2、源電極7、漏電極8、柵極9、納米功能層單元20，每個納米功能層單元20包括第一絕緣層4、納米功能層5、第二絕緣層6，每個納米功能層單元20的中心設有納米孔16,?納米孔16與第一儲藏室12、微納米分離通道14和第二儲藏室13相通,每個納米功能層單元20的設有源電極7和漏電極8與此納米功能層單元20保持電接觸，第一電泳電極10、第二電泳電極11、第一儲藏室12、第二儲藏室13、微納米分離通道14、N個場效應晶體管單元30、封裝層17構成生物傳感器40，多個生物傳感器40陣列化排列構成傳感器陣列50。

2.根據權利要求1所述的一種高分辨率的生物傳感器，其特征在于所述的納米功能層5的材料為層狀導電材料，層狀導電材料為石墨、還原的氧化石墨烯、部分氫化的石墨烯、WS₂、?BNC、MoS₂、NbSe₂或Bi₂Sr₂CaCu₂O_x；所述的納米功能層5的厚度為0.2～50?nm。

3.根據權利要求2所述的一種高分辨率的生物傳感器,?其特征在于所述的石墨為1～10層的石墨烯薄膜。

4.根據權利要求1所述的一種高分辨率的生物傳感器，其特征在于所述的納米孔16為圓孔、多邊形孔或者橢圓孔，孔徑最大處的距離為1～2000?nm。

5.根據權利要求1所述的一種高分辨率的生物傳感器，其特征在于所述的微納米分離通道14為圓孔、多邊形孔或者橢圓孔，孔徑最大處的距離為1～2000?nm。

6.根據權利要求1所述的一種高分辨率的生物傳感器，其特征在于所述的源電極7與漏電極8之間的距離為0.05?μm～1000?μm。

7.根據權利要求1所述的一種高分辨率的生物傳感器，其特征在于所述的納米功能層5的寬度為0.01?μm～1000?μm。

8.根據權利要求1所述的一種高分辨率的生物傳感器，其特征在于所述的第一絕緣層4?和第一絕緣層6的厚度為0.001?μm～1000?μm。