[發明專利]一種LTCC濾波器制作工藝及其制得的LTCC濾波器

有效

• 申請號: 201110095643.5
• 申請日: 2011-04-15
• 公開（公告）號: CN102231452A
• 公開（公告）日: 2011-11-02
• 發明（設計）人: 張美蓉;張海恩;梁啟新;齊治;賴定權;張杰;張立智;朱圓圓;南光亮
• 申請（專利權）人: 深圳市麥捷微電子科技股份有限公司
• 主分類號: H01P1/20
• 分類號: H01P1/20;H01P11/00;H03H1/02
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 胡堅

1.一種LTCC濾波器的制作工藝，其特征是，包括有如下步驟：

A.配料

選擇微波介質陶瓷粉料，并利用球磨機研磨微波介質陶瓷粉料，經過40～60h的球磨后，與有機黏合劑混合和溶劑，配制出介電常數在5～25之間的乳狀料漿；

B.流膜

將制得的料漿提供給流延設備的漿罐，料漿從流延設備的流延刀口形成的縫隙中擠出，在重力作用下，形成一道垂掛的料漿瀑布后，流延設備的載板在機械擺臂的作用下，以平穩的速度直線運行，穿過料漿瀑布，從而在載板上流延出厚薄均勻的陶瓷膜片；該陶瓷膜片被載板送入到流延設備的干燥區中，在干燥區中驅出該陶瓷膜片中的溶劑而得到10～30微米的生片；

C.印刷金屬圖案

利用絲網印刷技術在上一步驟得到的生片上按照設計線路印刷金屬圖案；

D.印刷內埋導電柱

在生片上需要設金屬連接點的位置上，采用反復印刷的方式形成內埋導電柱；

C、D步聚并非限于順序進行的，在每一次制過程中B、C、D三個步聚所需重復進行的次數是根據LTCC濾波器內部結構，進行兩次以上次操作，最終形成所需的三維陶瓷基板；

E.印刷極性標識

利用有色漿料在陶瓷基板表面印刷MARK點，標識LTCC濾波器的極性和正反；

F.切割

將成型所得的陶瓷基板在50℃～70℃左右溫度下烘干，利用切割機將烘制后的陶瓷基板按照對位線切割，分離出單個的LTCC濾波器。

G.排膠和燒結

將上一步驟所得的LTCC濾波器放進排膠爐、燒結爐中進行排膠和燒結。

H.涂布端電極

I.電鍍

涂布電極經過燒銀后，以電鍍方式在電極表面形成保護可焊層。

2.根據權利要求1所述的一種LTCC濾波器的制作工藝，其特征是，在第B步中，采用控制料漿粘度、刀口間隙、擺臂運行速度或流延次數控制生片的厚度。

3.根據權利要求1所述的一種LTCC濾波器的制作工藝，其特征是，在B步驟中，陶瓷膜厚度控制在10～30微米之間。

4.根據權利要求1所述的一種LTCC濾波器的制作工藝，其特征是，在C步驟中，所述的印刷金屬圖案主要是指印刷構成電容或電感的金屬圖案。

5.根據權利要求1所述的一種LTCC濾波器的制作工藝，其特征是，所述的絲網印刷技術所采用的絲網為200目、325目或400目的絲網。

6.根據權利要求1所述的一種LTCC濾波器的制作工藝，其特征是，所述的配料過程中還添加有增塑劑和分散劑。

7.根據權利要求1所述的一種LTCC濾波器的制作工藝，其特征是，在第H步中所述的涂布端電極方法包括有：方法一、通過導電漿料浸沾；方法二、通過絲網印刷技術在陶瓷片上印刷上端電極；方法三、通過沾銀機使用沾銀膠輪將端漿印刷在陶瓷片上。

8.根據權利要求1所述的一種LTCC濾波器的制作工藝，其特征是，在第E步中，所述的有色漿料是由顏料和稱之為“兄弟粉”的陶瓷粉料配制而成。

9.根據權利要求1所述的一種LTCC濾波器的制作工藝，其特征是：所述的絲網印刷技術所用的導電糊膏為Ag漿制作成的。

10.由權利要求1至9項任一項所述方法制得的LTCC濾波器，包括兩層以上的陶瓷體層和金屬電路層，其特征是：在兩層以上的金屬電路層間設有反復印刷的方式形成內埋導電柱連接。