[發明專利]一種應用于直寫式光刻機的灰階曝光的方法

有效

• 申請號: 201110091631.5
• 申請日: 2011-04-13
• 公開（公告）號: CN102147575A
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發明（設計）人: 丁建飛;謝睿文
• 申請（專利權）人: 合肥芯碩半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 林春旭

1.一種應用于直寫式光刻機的灰階曝光的方法，利用FPGA實現，其特征在于：包括以下步驟：

（1）首先將FPGA中用于存儲灰階圖形數據的存儲器劃分為N個相同大小的區域，N表示灰階圖形灰階的階數；

（2）利用FPGA分別提取用來表示灰階圖形數據的二進制碼的每一位，并依次形成與灰階圖形像素點分布一致的N張單色圖形數據，然后將N張單色圖形數據分別存儲到存儲器各個區域中；

（3）當待曝光器件與圖形發生器所反射的激光光束相對位置移動了一個曝光像素點時，更新一次圖形發生器的圖形顯示，同時，FPGA分別從存儲器的每個區域讀取行的曝光數據形成一張與圖形發生器像素分布一致的像素數據，并控制圖形發生器顯示。

2.根據權利要求1所述的一種應用于直寫式光刻機的灰階曝光的方法，其特征在于：所述圖形發生器為用于直寫式光刻機的圖形發生器SLM，其由像素點組成，且每個像素點可單獨控制是否反射激光光束。

3.根據權利要求1所述的一種應用于直寫式光刻機的灰階曝光的方法，其特征在于：?所述步驟（3）中，圖形發生器的圖形顯示更新方式為：將FPGA的各個存儲器的區域中的行地址加一，并從新的行地址開始讀取數據，圖形發生器的單色圖形數據由各個存儲器的區域按規定數目行數據組成。

4.根據權利要求1所述的一種應用于直寫式光刻機的灰階曝光的方法，其特征在于：?所述步驟（3）中，FPGA從存儲器的每個區域讀取的行數不同，存儲灰階圖形數據二進制值的某一位數據的區域就對應讀取這一位對應的二進制權值，位(N-n)所對應的分區應該讀取???????????????????????????????????????????????行數據，其中N為灰階值，n為二進制位。

5.根據權利要求1所述的一種應用于直寫式光刻機的灰階曝光的方法，其特征在于：?所述步驟（3）中，行是指圖形發生器中與掃描運動方向垂直的一行像素點的集合，掃描運動方向是指曝光過程中圖形發生器與待曝光器件的相對運動方向。