[發(fā)明專(zhuān)利]帶有激勵(lì)力反轉(zhuǎn)的微機(jī)電陀螺儀和激勵(lì)微機(jī)電陀螺儀的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110085692.0
• 申請(qǐng)日: 2011-02-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102230800A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-11-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: C·卡米納達(dá);L·普蘭迪;A·M·里佐皮雅扎羅恩科羅尼
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 意法半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01C19/56
• 分類(lèi)號(hào): G01C19/56
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種微機(jī)電陀螺儀，包括：

主體(6)；

驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊(7)，其根據(jù)驅(qū)動(dòng)軸(X)以第一自由度相對(duì)于主體(6)可移動(dòng)，并且通過(guò)電容性耦合(10)來(lái)耦合到所述主體(6)；以及

驅(qū)動(dòng)設(shè)備(3)，其與所述主體(6)和所述驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊(7)一起形成微機(jī)電控制回路(18)，并配置向所述驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊(7)提供具有共模分量(V_CM)和相應(yīng)差分分量的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(V_D1，V_D2)，使得維持所述驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊(7)根據(jù)所述驅(qū)動(dòng)軸(X)以驅(qū)動(dòng)頻率(ω_D)振蕩；

其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備(3)包括激勵(lì)級(jí)(23)，所述激勵(lì)級(jí)(23)配置成可控地反轉(zhuǎn)所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)(V_D1，V_D2)的差分分量的符號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的陀螺儀，包括：

感應(yīng)質(zhì)量塊(8)，其機(jī)械地耦合至所述驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊(7)，從而被帶入根據(jù)驅(qū)動(dòng)軸(X)的運(yùn)動(dòng)中，并且根據(jù)感應(yīng)軸(Y)以第二自由度相對(duì)于所述驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊(7)可移動(dòng)，以響應(yīng)于所述主體(6)的旋轉(zhuǎn)；

讀取發(fā)生器(4)，其設(shè)置成向所述感應(yīng)質(zhì)量塊(8)提供方波讀取信號(hào)(V_R)；以及

讀取設(shè)備(5)，其設(shè)置成響應(yīng)于所述讀取信號(hào)(V_R)，提供指示所述感應(yīng)質(zhì)量塊(8)的位置的輸出信號(hào)(S_OUT)；

其中，所述激勵(lì)級(jí)(23)設(shè)置成，與所述讀取信號(hào)(V_R)的第一沿(t₂)同時(shí)反轉(zhuǎn)所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)(V_D1，V_D2)的差分分量的符號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的陀螺儀，其中，所述激勵(lì)級(jí)(23)設(shè)置成，從所述第一沿(t₂)開(kāi)始連續(xù)到相對(duì)于所述讀取信號(hào)(V_R)的第二沿(t₃)提前(TA)，反轉(zhuǎn)所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)(V_D1，V_D2)的差分分量的符號(hào)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的陀螺儀，其中，所述提前(TA)是可編程的。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4的陀螺儀，其中，所述激勵(lì)級(jí)(23)包括：放大器(40)和具有耦合至所述放大器(40)的各自輸出端的第一輸入端(41a)和第二輸入端(41b)的開(kāi)關(guān)模塊(41)，以及通過(guò)各自的驅(qū)動(dòng)端(13a，13b)和所述電容性耦合(10)耦合至所述驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊(7)的第一輸出端(41c)和第二輸出端(41d)，且其中，所述開(kāi)關(guān)模塊(41)具有，所述第一輸入(41a)連接至所述第一輸出端(41c)以及所述第二輸入端(41b)連接至所述第二輸出端(41d)的第一運(yùn)行配置，和所述第一輸入端(41a)連接至所述第二輸出端(41d)以及所述第二輸入端(41b)連接至所述第一輸出端(41c)的第二運(yùn)行配置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5的陀螺儀，包括：定時(shí)發(fā)生器(30)，其設(shè)置成通過(guò)一組定時(shí)信號(hào)(φ₁，φ₂，φ₃)來(lái)控制所述讀取發(fā)生器(4)和所述讀取裝置(5)，且通過(guò)另一定時(shí)信號(hào)(φ₄)在所述第一運(yùn)行配置和所述第二運(yùn)行配置之間切換所述開(kāi)關(guān)模塊(41)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6的陀螺儀，其中，所述定時(shí)發(fā)生器(30)設(shè)置成，與所述讀取信號(hào)(V_R)的第一沿(t₂)同時(shí)，將所述開(kāi)關(guān)模塊(41)從所述第一運(yùn)行配置切換至所述第二運(yùn)行配置。

8.根據(jù)權(quán)利要求6的陀螺儀，其中，所述定時(shí)發(fā)生器(30)設(shè)置成，相對(duì)于所述讀取信號(hào)(V_R)的第二沿(t₃)提前(T_A)將所述開(kāi)關(guān)模塊(41)從所述第二運(yùn)行配置切換至所述第一運(yùn)行配置。

9.根據(jù)權(quán)利要求5-8任一的陀螺儀，其中，所述放大器(40)是可變?cè)鲆娣糯笃鳌?/p>