[發(fā)明專利]一種柔性紅外探測器的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110085337.3
• 申請日: 2011-04-06
• 公開（公告）號: CN102185026A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發(fā)明（設計）人: 周軍;袁龍炎;代俊杰
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 朱仁玲

1.一種柔性紅外探測器的制備方法，包括如下步驟：

首先，將襯底放置在烴類或醇類化合物的火焰上方一定距離處一段時間，直至在襯底上生長出碳納米顆粒；

其次，將碳納米顆粒轉移到聚二甲基硅氧烷（PDMS）上；

然后，將襯底從聚二甲基硅氧烷上剝離，所述碳納米顆粒被轉移到聚二甲基硅氧烷上，即得到在聚二甲基硅氧烷上的碳納米顆粒薄膜層；

最后，在所述碳納米顆粒薄膜的兩端制備銀電極并引線封裝，即可獲得柔性紅外探測器。

2.根據(jù)權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述將碳納米顆粒轉移到聚二甲基硅氧烷（PDMS）上的具體過程為：

首先將聚二甲基硅氧烷按照一定比例配備，烘烤后獲得半固化的聚二甲基硅氧烷，然后將襯底放置在所述半固化的聚二甲基硅氧烷上并壓緊，其中，生長有碳納米顆粒的面朝向所述半固化的聚二甲基硅氧烷，再次烘烤后將襯底從聚二甲基硅氧烷上剝離，碳納米顆粒即被轉移到聚二甲基硅氧烷上。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述襯底為陶瓷片、石英玻璃或硅片。

4.根據(jù)權利要求1-3之一所述的制備方法，其特征在于，所述烴類或醇類化合物為酒精。

5.權利要求1-4之一所述的制備方法制備的柔性紅外探測器。