[發明專利]一種基于形貌配準分析的精密主軸回轉精度檢測方法

有效

• 申請號: 201110084661.3
• 申請日: 2011-04-06
• 公開（公告）號: CN102252617A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 趙學森;孫濤;閆永達;胡振江;吳玉東;董申
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;B23Q17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于形貌配準分析的精密主軸回轉精度檢測方法，其特征在于，首先，將表面樣品安裝在待測精密主軸上，調整表面樣品的位置，使其在待測精密主軸的回轉中心附近；二、調節表面微觀形貌測量傳感器相對于表面樣品的位置，使得表面微觀形貌測量傳感器的測量范圍覆蓋到表面樣品隨待測精密主軸旋轉時的回轉中心位置；三、控制系統控制待測精密主軸到某一角度位置，由表面微觀形貌測量傳感器測量一幅表面形貌圖；控制系統控制待測精密主軸到一個角度θ位置，再次測量一幅表面形貌圖；按照上述過程，依次采集待測精密主軸在完整圓周位置上表面樣品的表面形貌圖；四、形貌數據配準分析處理系統將所獲得的若干表面形貌圖進行分析，即可得到待測精密主軸的回轉誤差數據，并進行誤差評價。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，表面微觀形貌測量傳感器為二維形貌/圖像傳感器。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，表面微觀形貌測量傳感器為三維形貌傳感器。

4.根據權利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，形貌數據配準分析處理系統采用三維剛體運動的齊次坐標變換矩陣理論計算待測精密主軸的回轉誤差數據。