[發(fā)明專利]一種化腐機(jī)電控系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110084591.1
• 申請日: 2011-04-06
• 公開（公告）號: CN102194666A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 靳立輝;張雪囡;康冬輝;李翔
• 申請（專利權(quán)）人: 天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 天津中環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 12105
• 代理人: 莫琪

1.一種化腐機(jī)電控系統(tǒng)，包括PLC和液面?zhèn)鞲衅鳎涮卣髟谟冢琍LC的四個(gè)數(shù)字量輸入端分別連接液面?zhèn)鞲衅鱔01、液面?zhèn)鞲衅鱔02、液面?zhèn)鞲衅鱔03和一個(gè)出水流量計(jì)X00，由PLC的兩個(gè)輸出端繼電器分別控制進(jìn)水閥門Y60和出水閥門Y61；純水暫存箱（1）外壁設(shè)有連通純水暫存箱（1）內(nèi)的水管（2），液面?zhèn)鞲衅鱔03、液面?zhèn)鞲衅鱔02和液面?zhèn)鞲衅鱔01由上至下依次安裝在水管（2）上，進(jìn)水閥門Y60安裝在純水暫存箱（1）的進(jìn)水管（3）上，出水流量計(jì)X00和出水閥門Y61安裝在純水暫存箱（1）的出水管（4）上；液面?zhèn)鞲衅鱔01用于測量150升水量對應(yīng)的下限液面；液面?zhèn)鞲衅鱔02用于測量400升水量對應(yīng)的上限液面；液面?zhèn)鞲衅鱔03用于測量450升水量對應(yīng)的超限報(bào)警液面；根據(jù)液面?zhèn)鞲衅鱔02采樣數(shù)據(jù)，PLC判斷純水暫存箱（1）內(nèi)是否存有400升水，由PLC輸出端繼電器控制進(jìn)水閥門開關(guān)，若純水暫存箱（1）內(nèi)不足400升水，進(jìn)水閥門Y60打開；若純水暫存箱（1）內(nèi)裝滿400升水，則進(jìn)水閥門Y60關(guān)閉；根據(jù)液面?zhèn)鞲衅鱔03采樣數(shù)據(jù)，PLC判斷純水暫存箱（1）內(nèi)液面是否超限，如果出現(xiàn)液面?zhèn)鞲衅鱔02損壞失效的情況，液面達(dá)到400升處，仍沒有關(guān)閉進(jìn)水閥Y60，當(dāng)液面繼續(xù)上升到450升處時(shí)，液面?zhèn)鞲衅鱔03通知PLC緊急關(guān)閉水閥門Y60，并發(fā)出報(bào)警信息；根據(jù)液面?zhèn)鞲衅鱔01采樣數(shù)據(jù)，PLC判斷純水暫存箱（1）內(nèi)是否存有150升水，?若有150升水，則輸出指令，允許化腐機(jī)進(jìn)行化學(xué)腐蝕流程；若沒有150升水，則繼續(xù)等待進(jìn)水至150升水后再輸出允許化腐機(jī)進(jìn)行化學(xué)腐蝕流程的指令；根據(jù)出水流量計(jì)X00的流量信號，PLC判斷出水閥門Y61的出水量，若出水達(dá)到150升水時(shí)，則出水閥門Y61關(guān)閉。

2.如權(quán)利要求1所述的化腐機(jī)電控系統(tǒng)的電控方法，其特征在于，包括如下次序步驟：

（a）開始一個(gè)化腐流程時(shí)，PLC首先根據(jù)純水暫存箱內(nèi)用于測量400升水量的液面?zhèn)鞲衅鱔02，判斷純水暫存箱內(nèi)是否存有400升水；

（b）若有400升水，則進(jìn)水閥門Y60關(guān)閉，直接進(jìn)行化學(xué)腐蝕；

（c）若沒有400升水，則打開進(jìn)水閥門Y60，進(jìn)水同時(shí)檢測液面?zhèn)鞲衅鱔01，判斷純水暫存箱內(nèi)是否存有150升水；

（d）若存有150升水，則直接進(jìn)行化學(xué)腐蝕；

（e）若沒有150升水，則繼續(xù)等待進(jìn)水；

（f）化學(xué)腐蝕和水洗過程中，進(jìn)水閥門Y60允許處于打開狀態(tài)；

（g）化學(xué)腐蝕完畢后，打開純水暫存箱的出水閥門Y61，根據(jù)出水流量計(jì)X00的流量信號，PLC判斷出水閥門Y61的出水量，若出水量達(dá)到150升水時(shí)，則出水閥門Y61關(guān)閉；

（h）操作員可以取出化腐后的硅片，裝上新硅片，化腐機(jī)開始下一個(gè)化腐流程。