[發(fā)明專利]掩膜板真空對位裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110084258.0
• 申請日: 2011-04-02
• 公開（公告）號: CN102184934A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊明生;張永紅;劉惠森;范繼良;王曼媛
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機械有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種真空對位裝置，尤其涉及一種用于OLED生產(chǎn)中對基片與掩膜板進行對位的掩膜板真空對位裝置。

背景技術(shù)

隨著經(jīng)濟的不斷發(fā)展、科技的不斷進步和世界能源的日益減少，人們在生產(chǎn)中越來越重視能源的節(jié)約及利用效率，使得人與自然和諧發(fā)展以滿足中國新型的工業(yè)化道路要求。

例如，在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示產(chǎn)業(yè)中，企業(yè)為了節(jié)約能源、降低生產(chǎn)成本，都加大投資研發(fā)力度，不斷地追求節(jié)能的新產(chǎn)品。其中，OLED顯示屏就是數(shù)碼產(chǎn)品中的一種新產(chǎn)品，OLED即有機發(fā)光二極管(Organic?Light-Emitting?Diode)，因為具備輕薄、省電等特性，因此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對OLED的應用都聚焦在平板顯示器上，因為OLED是唯一在應用上能和TFT-LCD相提并論的技術(shù)，且是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)，可以做成和紙張一樣的厚度；但OLED顯示屏(有機發(fā)光顯示屏)與傳統(tǒng)的TFT-LCD顯示屏(液晶顯示屏)并不同，其無需背光燈，采用非常薄的有機材料涂層和玻璃基片，當有電流通過時，這些有機材料就會發(fā)光，而且OLED顯示屏可以做得更輕更薄，可視角度更大，并且能夠顯著節(jié)省電能；相應地，制造OLED顯示屏的所有設(shè)備必須要保證OLED顯示屏的精度要求。OLED顯示屏是基于有機材料的一種電流型半導體發(fā)光器件。其典型結(jié)構(gòu)是在ITO玻璃上蒸鍍一層幾十納米厚的有機發(fā)光材料作發(fā)光層，發(fā)光層上方有一層低功函數(shù)的金屬電極。當電極上加有電壓時，發(fā)光層就產(chǎn)生光輻射。

為了使其能夠全彩色顯示裝置，發(fā)光層應被圖案化。通常發(fā)光層圖案化是利用精細金屬掩膜(MASK)貼合在導電玻璃基片上，使蒸發(fā)源中的有機材料在基板上沉積為所要求的圖案。在整個蒸鍍過程中需要一種特殊的夾持裝置來抓取基片和掩膜，并需要一個定位壓合裝置將基片和掩膜貼合在一起。傳統(tǒng)的做法是利用機械手分別抓取掩膜板和基片，并將其放置在蒸發(fā)源上方的掩膜托板上，再利用機械手進行對位。

這種對位方式簡單粗糙，容易使得基片和掩膜板貼合錯位，為了解決這一問題，現(xiàn)有的技術(shù)人員在用于抓取掩膜板和基片的夾持機構(gòu)正下方設(shè)置一個對位卡座，在基片和掩膜板貼合前，先將玻璃基片輸送到對位卡座所在的水平面上，使用水平面上的橫向和縱向兩個方向的氣缸推動基片直至卡在對位卡座上，從而保證基片位于夾持機構(gòu)的正下方。然而這種通過對位卡座進行簡單對位的方式只能保證玻璃基片的輸送位置準確，并不能保證掩膜板和基片的對位準確，不能滿足現(xiàn)有OLED生產(chǎn)的需要。

因此，急需一種可以對基片和掩膜板進行準確對位的掩膜板真空對位裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種可對基片和掩膜板進行準確對位的掩膜板真空對位裝置。

為了實現(xiàn)上有目的，本發(fā)明公開了一種掩膜板真空對位裝置，用于有機發(fā)光顯示器生產(chǎn)中掩膜板和基片的對位，該掩膜板真空對位裝置包括真空腔室、支撐桿、對位檢測裝置、驅(qū)動裝置和控制器，所述真空腔室內(nèi)安裝有承載所述掩膜板的托板以及夾持所述基片的夾持器；所述對位檢測裝置檢測所述掩膜板和基片的對位效果，并將檢測到的信息發(fā)送到控制器，所述控制器與所述驅(qū)動裝置相連并控制所述驅(qū)動裝置動作，所述驅(qū)動裝置與所述支撐桿的一端相連并驅(qū)動所述支撐桿動作，所述支撐桿的另一端密封穿過所述真空腔室后與所述托板固定連接，并帶動所述托板做升降、水平、旋轉(zhuǎn)運動。

較佳地，所述對位檢測裝置包括安裝在真空腔室內(nèi)的對位光源和安裝在所述托板下方的電荷耦合元件，所述電荷耦合元件在所述基片的相應位置上形成對位光標，所述掩膜板上開設(shè)有與所述對位光標相對應的對位孔。采用CCD(Charge-coupled?Device電荷耦合元件)對MASK(掩膜板)和基片的對位效果進行檢測，并將檢測的信息反饋給控制器，使得掩膜板和基片的對位精確；而所述對位光源的存在給CCD檢測提供了相對光亮的環(huán)境。

較佳地，所述驅(qū)動裝置包括升降電機、水平調(diào)節(jié)平臺、旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)平臺以及絲桿，所述升降電機的驅(qū)動軸與所述絲桿相連并控制所述絲桿做旋轉(zhuǎn)升降運動，所述支撐桿遠離所述托板的一端穿過所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)平臺和水平調(diào)節(jié)平臺并與所述絲桿的另一端相連，所述水平調(diào)節(jié)平臺內(nèi)安裝有與所述支撐桿相連的水平驅(qū)動電機，所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)平臺內(nèi)安裝有與所述支撐桿相連的旋轉(zhuǎn)電機，所述升降電機通過絲桿控制所述支撐桿做升降運動，所述水平調(diào)節(jié)電機控制所述支撐桿沿水平方向移動，所述旋轉(zhuǎn)電機控制所述支撐桿做旋轉(zhuǎn)運動，所述支撐桿帶動所述托板做升降、水平、旋轉(zhuǎn)運動。