[發(fā)明專利]基片籃子傳輸設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110084132.3
• 申請日: 2011-04-02
• 公開（公告）號: CN102185116A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊明生;郭業(yè)祥;劉惠森;范繼良;王曼媛
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種基片籃子傳輸設(shè)備，其特征在于：包括支撐板、機(jī)械手組件及水平滑動工作臺組件，所述水平滑動工作臺組件包括旋轉(zhuǎn)平臺、機(jī)架、兩支撐平臺、兩對位結(jié)構(gòu)以及兩平臺抱緊結(jié)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)平臺的下端旋轉(zhuǎn)連接于所述支撐板上，所述旋轉(zhuǎn)平臺的上端與所述機(jī)架的下端固定連接，所述支撐平臺分別滾動連接于所述機(jī)架的上端的兩側(cè)，兩所述支撐平臺之間形成籃子放置區(qū)域，所述對位結(jié)構(gòu)分別固定于所述機(jī)架的前端的一側(cè)以及所述機(jī)架的后端的另一側(cè)，所述平臺抱緊結(jié)構(gòu)分別與對應(yīng)的支撐平臺連接，所述機(jī)械手組件用于將基片籃子從所述水平滑動工作臺組件傳輸至指定工位。

2.如權(quán)利要求1所述的基片籃子傳輸設(shè)備，其特征在于：所述機(jī)械手包括機(jī)械手固定座、升降旋轉(zhuǎn)手臂、前后走向的叉手以及伸縮叉手，所述機(jī)械手固定座一端固定于所述支撐板上，另一端與所述升降旋轉(zhuǎn)手臂的下端固接，所述升降旋轉(zhuǎn)手臂的上端與所述叉手的下表面固接，所述伸縮叉手連接于所述叉手的上表面并伸縮地伸進(jìn)所述籃子放置區(qū)域。

3.如權(quán)利要求1所述的基片籃子傳輸設(shè)備，其特征在于：所述對位結(jié)構(gòu)包括對位氣缸以及對位導(dǎo)向滾輪，所述對位氣缸固接于所述機(jī)架的前端的一側(cè)以及所述機(jī)架的后端的另一側(cè)，所述對位氣缸位于對應(yīng)的支撐平臺的下方，所述對位氣缸包括缸體、滑桿以及手柄，所述手柄固接于所述滑桿的外端，所述滑桿的內(nèi)端伸縮的伸進(jìn)所述缸體，所述對位導(dǎo)向滾輪旋轉(zhuǎn)連接與所述手柄的上端并伸至所述籃子放置區(qū)域的上方。

4.如權(quán)利要求1所述的基片籃子傳輸設(shè)備，其特征在于：所述平臺抱緊結(jié)構(gòu)包括升降氣缸、升降滑桿以及緊固銷，所述升降滑桿的下端滑動地伸進(jìn)所述升降氣缸，所述升降滑桿的上端與所述緊固銷固接，所述支撐平臺對應(yīng)所述緊固銷開有緊固孔，所述緊固銷伸縮地插設(shè)于所述緊固孔內(nèi)。

5.如權(quán)利要求1所述的基片籃子傳輸設(shè)備，其特征在于：所述機(jī)架的上端的兩側(cè)分別設(shè)有至少兩個滾動鋼珠以及凸設(shè)有一導(dǎo)向銷，所述支撐平臺對應(yīng)所述導(dǎo)向銷開有導(dǎo)向孔，所述支撐平臺滑動連接于所述滾動鋼珠上，所述導(dǎo)向銷活動連接于所述導(dǎo)向孔內(nèi)。

6.如權(quán)利要求1所述的基片籃子傳輸設(shè)備，其特征在于：還包括傳感器裝置，所述傳感器裝置設(shè)于所述支撐平臺的上端。

7.如權(quán)利要求1所述的基片籃子傳輸設(shè)備，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)平臺的側(cè)壁凸設(shè)有擋塊，所述支撐板對應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)平臺的外圍固設(shè)有兩限位塊，所述旋轉(zhuǎn)平臺旋轉(zhuǎn)時，所述擋塊與所述限位塊抵擋。