[發明專利]笛卡爾機械臂群集工具架構

有效

• 申請號: 201110080003.7
• 申請日: 2006-04-07
• 公開（公告）號: CN102176425A
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發明（設計）人: M·利斯;J·胡金斯;C·卡爾森;W·T·威弗;R·勞倫斯;E·英格哈特;D·C·魯澤克;D·塞法緹;M·庫查;K·范凱特;V·霍斯金;V·沙阿;S·洪喬姆
• 申請（專利權）人: 應用材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677;H01L21/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸勍

1.一種機械臂組件，包括：

一第一移動組件，可在第一方向上移動；以及

一第二移動組件，該第二移動組件耦合于所述第一移動組件并可相對于所述第一移動組件在基本垂直于所述第一方向的第二方向上移動，其中所述機械臂組件還包括：

一圍封，設置于所述第一移動組件或者所述第二移動組件之一中；

一促動器，在所述圍封內；

一風扇組件，設置于所述圍封中，適于在所述圍封內產生一小于該圍封外部壓力的壓力。

2.如權利要求1所述的機械臂組件，其特征在于，所述圍封包含垂直促動器組件的至少一部分。

3.如權利要求2所述的機械臂組件，其特征在于，所述垂直促動器組件包括一線性軌道。

4.如權利要求2所述的機械臂組件，其特征在于，所述垂直促動器組件包括一皮帶。

5.如權利要求2所述的機械臂組件，其特征在于，所述垂直促動器組件包括一支撐板，該支撐板上設置有一轉移機械臂。

6.如權利要求2所述的機械臂組件，其特征在于，所述垂直促動器組件耦合于一滑軌板，該滑軌板可相對于一設置于所述第二移動組件中的水平促動器組件移動。

7.如權利要求2所述的機械臂組件，其特征在于，所述圍封包含水平促動器組件的至少一部分。

8.如權利要求7所述的機械臂組件，其特征在于，所述水平促動器組件耦合于一基座結構。

9.如權利要求8所述的機械臂組件，其特征在于，所述基座結構包括多個穿孔。

10.一種用于在群集工具中轉移基材的機械臂組件，該機械臂組件包括：

機械臂，適于將基材定位于基本上包含于一平面內的一個或多個點，該機械臂包括：

一第一移動組件，包括：

一滑軌組件，其含有與沿第一方向定位的第一線性軌道耦合的塊狀物；

一支撐板，耦合于所述塊狀物和所述機械臂；

一圍封，具有一個或多個壁，所述一個或多個壁形成基本圍繞所述滑軌組件的第一內部區域且一促動器設置于所述圍封內；以及

第一風扇組件，與所述第一內部區域連通并適于在所述第一內部區域中產生小于所述第一內部區域的外部壓力的壓力。

11.如權利要求10所述的機械臂組件，其特征在于，所述第一移動組件包括一狹縫，該狹縫形成于所述圍封的一個或多個壁中的一個壁中，所述支撐板延伸通過該狹縫。

12.如權利要求10所述的機械臂組件，其特征在于，所述第一移動組件耦合于所述第二移動組件。

13.如權利要求12所述的機械臂組件，其特征在于，所述第二移動組件耦合于一沿第二方向定位的第二線性軌道。

14.如權利要求13所述的機械臂組件，其特征在于，所述第二方向基本垂直于所述第一方向。

15.如權利要求12所述的機械臂組件，其特征在于，所述第二移動組件包括：

一個或多個壁，所述一個或多個壁形成與所述第一內部區域流體連通的第二內部區域。

16.一種用于在群集工具中轉移基材的機械臂組件，該機械臂組件包括：

一第一移動組件，包括：

一第一促動器組件，適于相對于沿第一方向定位的第一線性軌道來定位機械臂，所述第一促動器組件設置于所述第一移動組件內的第一圍封中，所述第一圍封具有一個或多個壁，所述一個或多個壁形成第一內部區域并包含第一風扇組件；以及

一第二移動組件，耦合于沿基本垂直于所述第一方向的第二方向定位的第二線性軌道。

17.如權利要求16所述的機械臂組件，其特征在于，所述第一促動器組件還包括：

一滑軌組件，當所述機械臂由所述第一促動器組件定位時引導該機械臂。

18.如權利要求16所述的機械臂組件，其特征在于，所述第二移動組件還包括一第二促動器組件。

19.如權利要求18所述的機械臂組件，其特征在于，所述第二移動組件還包括：

一第二圍封，具有一個或多個壁，所述一個或多個壁圍繞所述第二促動器組件以形成一第二內部區域。