[發明專利]探測單元相對平行度調整裝置

無效

• 申請號: 201110079496.2
• 申請日: 2011-03-23
• 公開（公告）號: CN102280518A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 宇田隆;池谷武久;町田洋
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;G01R31/26;G01R31/02;G05D3/00
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 徐申民

技術領域

本發明涉及一種探測單元相對平行度調整裝置、探測單元相對平行度調整方法、記錄了探測單元相對平行度調整程序的記錄介質、探測單元以及板輸送構件，其可以適用于例如測定太陽能電池板的特性、檢測短路部、或者去除短路部的裝置。

背景技術

在制造使用非晶半導體等的薄膜太陽能電池板時，例如，在夾著用于發電的光電轉換半導體層的基板側電極和背面電極的電極之間、2個背面電極之間或者各層內等有時會產生短路部。例如，薄膜太陽能電池板是在1塊玻璃基板上并列設置多個層疊有基板側電極、光電轉換半導體層以及背面電極的太陽能電池單元。例如，在基板上層疊基板側電極、光電轉換半導體層、背面電極等的工序對于多個太陽能電池單元是共通的，再將各層(含有電極)利用激光等切分，在相鄰的太陽能電池單元之間形成溝槽(劃線槽)，從而形成多個太陽能電池單元。有時該切槽工序不適當，可能會在相鄰的太陽能電池單元之間產生短路部，或者在同一太陽能電池單元的基板側電極和背面電極之間產生短路部。例如，在制造工序中，由于在光電轉換半導體層形成小孔，或者混入雜質，可以會使相鄰的太陽能電池單元之間或者同一太陽能電池單元的基板側電極和背面電極之間產生短路部。

因此，需要進行確認短路部是否存在的測定，或者進行去除短路部的處理。

為了去除短路部，例如，在專利文獻1中提出了去除太陽能電池的短路部的方法的方案。在去除該太陽能電池的短路部的方法中，通過在存在短路部的電極之間施加反向偏壓，使得電流在短路部集中，利用由此而產生的焦耳熱使得短路部的導通處飛散、或氧化，從而使短路部處于絕緣狀態，以去除短路部。根據該專利文獻1所公開的技術，分別使多個太陽能電池單元的背面電極與多個探針接觸，通過在相鄰的背面電極之間施加反向偏壓，來向短路部流通電流。

在設于1塊太陽能電池板的多個太陽能電池單元的每一個分別設有背面電極，例如，這些多個背面電極之間的短路部的去除可以同步進行。因此，提出了一種利用探測單元的短路部去除裝置，該探測單元使得探針同時都與設置于1塊太陽能電池板的整個面或者半個面等處的多列背面電極接觸。例如，使探測單元下降，并使探針分別與例如配置于太陽能電池板整面的背面電極列的特定范圍的背面電極列接觸，向短路部施加反向偏壓，然后，使探測單元上升，在去除了形成于太陽能電池板的整體范圍的太陽能電池單元的短路部之后，將該太陽能電池板從短路部去除工序區域移出，接下來將下一個太陽能電池板搬入到短路部去除工序區域，以后反復實行相同的動作。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1日本專利特開平10-4202號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

太陽能電池單元的背面電極在其長度反向具有電阻，即使施加了規定的反向偏壓，根據存在于太陽能電池單元之間的短路部的位置，有時由于背面電極的電阻所導致的電壓損失，不能對短路部充分地施加反向偏壓。因此，為了無論在任何位置產生短路部都可以施加幾乎同級別的反向偏壓，沿著背面電極的長度方向，幾乎等間隔地配置有多個電壓施加用探針。另一方面，一般太陽能電池板的長寬都有1m以上的長度，因此，被配置探針之間的最大分離距離也與太陽能電池板的大小相對應，在此例中大約達到1m。

如圖1所示，對于要施加反向偏壓的太陽能電池板1，在配置有多個探針的探測單元2處于傾斜(非平行)狀態的情況下，伴隨著探測單元2的下降的探針與太陽能電池板1的接觸，從最下位置的探針3a首先開始接觸，隔一段時間之后最上位置的探針3b隨后接觸。即使最下位置的探針3a首先接觸，但探測單元2依然會持續下降，直到探測單元2的所有的探針、尤其是最上位置的探針3b與太陽能電池板1接觸為止，首先接觸的下方側的探針3a等相對于太陽能電池板1以一定的角度接觸，因此，該首先接觸的下方側的探針3a會由于探測單元2的下降動作而破損或彎曲。即使免于破損，通過上方側的探針3b接觸，太陽能電池板1與探測單元2趨向變為平行狀態，也會以該探針3b的接觸點為基點，對首先接觸的探針3a施加力偶。在糾正該力偶的作用導致的彎曲時，探針3a的頂端摩擦所接觸的背面電極的表面，使得背面電極受到損傷。

因此，探測單元2的相對配置最好盡可能地與太陽能電池板1平行。例如，將短路部去除裝置設置在操作工序內時，需要充分地確認探測單元2是否與太陽能電池板1平行地安裝，在平行度不足的情況下還需要調整等的操作。